RF電源
RFS-Nシリーズ

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RFS1310_1350

RFS-Nシリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。
>> アルバックのRF電源 3つのメリットとは?

特長

  • 高効率アンプ採用
    電力変換効率の良いRF回路を構成し、省エネルギー
  • 高速オートマッチング
    高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施
  • RF電源にオートマッチング機能を内蔵
    本体ユニットのみでマッチングシステム制御が可能。
    内蔵のコントローラでRF電源・マッチングボックスのマニュアル操作も可能
  • 柔軟な制御形態に対応
    外部アナログ制御、シリアル通信制御が可能
  • 高信頼性
    装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック

用途

  • スパッタリング装置
  • CVD装置
  • プラズマエッチング装置
  • RFイオン源
  • ニュートラライザ

仕様

[パワージェネレータ]

形式 RFS-1305N RFS-1310N RFS-1330N RFS-1350N
入力仕様 入力定格電圧 AC200 to 220V
入力電圧変動範囲 AC180〜242V
相数・周波数 単相 50/60Hz 三相 50/60Hz
入力接続部 DCA3102E16-10P-D
(バヨネットロック式丸型レセプタクル)
DCA3102E22-22P-D
(バヨネットロック式丸型レセプタクル)
入力容量 1.2 kVA以下 1.8 kVA以下 5 kVA以下 8 kVA以下
入力電流 10A以下 25A以下 30A以下
漏洩電流 5mA以下
出力仕様 発振周波数 13.56MHz
定格進行波電力 500W(50Ω 負荷時) 1000W(50Ω 負荷時) 3000W(50Ω 負荷時) 5000W(50Ω 負荷時)
最大反射波電力 100W 500W
出力インピーダンス 50Ω
高調波歪率 -35dB 以下 (定格出力時連続モードにて)
出力接続部 N型 HN型 DIN 7/16
制御 制御方式 定電力制御
制御精度 定格出力の±2%以下(定格電力値の10~100%)
冷却方式 空冷 水冷
流量 4L/min 流量 6L/min
制御補償範囲 定格電力値の10〜100%
外形寸法     W x D x H 240mm x 495mm x 150mm
(突起部含まず)
480mm × 500mm × 150mm
(突起部含まず)
質量 約11kg 約23kg

 

[マッチングボックス]

形式 MBX-1305N/1310N MBX-1330N MBX-1350N
RF入力 入力周波数 13.56MHz
定格電力 50〜1000W 30〜3000W 50〜5000W
入力接続部 HN型 DIN 7/16型
RF出力 許容出力電圧 2.5kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 5.0kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下 10kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下
許容出力電流 30A 以下 80A 以下 120A 以下
負荷インピーダンス 実部: 0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω
(ただし、規定電圧、規定電流の範囲内の時)
残留反射波電力 入力進行波電力の0.3% 以下
もしくは10W以下のどちらか大きい方
入力進行波電力の0.3% 以下
もしくは30W以下のどちらか大きい方
入力進行波電力の0.3% 以下
もしくは50W以下のどちらか大きい方
冷却方式 空冷 空冷+水冷(流量 2L/min)
外形寸法    W x D x H 375mm x 250mm x 120mm
(突起部含まず)
375mm x 250mm x 170mm
(突起部含まず)
450mm x 500mm x 248mm
(突起部含まず)
質量 約8kg 約10kg 約21kg

* 動作周囲温度 10〜40ºC(結露なきこと)
* 動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動を避けること、腐食性ガスを含まないこと

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