EB電源
HPS-Nシリーズ

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HPS-N

HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。
>> アルバックのEB電源 3つのメリットとは?

特長

  • 冷却水不要
    強制空冷方式のため冷却水が不要
  • 高信頼性
    装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック
  • 簡易な操作性
    操作パネルに液晶タッチパネルを採用したことにより、操作性が向上
  • スイープ波形バリエーション
    操作画面上で様々なビームのスキャンフォーム作成が可能
  • 高速アーク遮断機能
    高速アーク遮断により、蒸着レート低下を最小限に抑える回路を構成
  • 低レベルアークコントロール機能(光学用途向けオプション)
    光学用途で発生する微小なアークを制御し安定した蒸着が可能

用途

  • 金属膜用真空蒸着
  • 光学膜用真空蒸着

仕様

 

形式 HPS-600N HPS-1000N
入力仕様 相数、周波数 三相 50/60Hz
入力電圧 AC200〜220V
変動範囲 AC190〜231V
入力容量 1ソース 9.0kVA以下 14.0kVA以下
2ソース 10.0kVA以下 15.0kVA以下
漏洩電流 各相5mA以下
出力仕様 定格出力電力 1ソース 6kW 10kW
2ソース 6kW
(各ソース出力合わせて)
10kW
(各ソース出力合わせて)
高圧出力電圧 可変範囲 -2〜-6kV -4〜-10kV
安定度 ±1%以下
リップル率 ±2%p-p以下(各定格出力にて)
ビーム電流 可変範囲 0〜1000mA
変動率 ±2%以下(各定格出力にて)
フィラメント用出力 電圧 0〜6V/12VAC
電流 0A〜45A Max
高圧せん絡保護 動作方式 半導体素子によるスイッチング方式
高圧遮断時間 1ms以下(機械的短絡においては約1秒で高圧OFF)
休止時間 10ms以下
高圧立ち上がり時間 1ms以下(定格20%から80%)
冷却方式 強制空冷
外形寸法 W×D×H 494mm×701mm×712mm( 突起部含まず)
質量 約115kg 約120kg
適合規格 CE

 

形式 EGC-10GS
TYPE G-TYPE S-TYPE
入力仕様 相数、周波数 三相 50/60Hz
入力電圧 AC200〜220V
変動範囲 AC190〜231V
入力容量 382VA以下
漏洩電流 各相5mA以下
出力仕様 X軸マグネットコイル出力 可変範囲 0〜±1.5A 0〜-3.5A
電圧 ±24V Max
変動率 ±2%以下
周波数 10〜800Hz 0.1Hz毎に可変 0.1〜5Hz 0.1Hz毎に可変
波形 任意波形
Y軸マグネットコイル出力 可変範囲 0〜±1.5A 0〜±1.2A
電圧 ±24V
変動率 ±2%以下
周波数 10〜800Hz 0.1Hz毎に可変 0.1〜22Hz 0.1Hz毎に可変
波形 任意波形
偏向コイル出力
(ディフレクションコイル)
(G-TYPE用ガンのみ)
可変範囲 -0.4〜-3.5A
電圧 +24V Max
変動率 ±2%以下
周波数 DC
波形 DC
冷却方式 強制空冷
外形寸法 W×D×H 480.5mm×499mm×149mm
質量 11.5kg
適合規格 CE

* 動作周囲温度 10〜40ºC(結露なきこと)
* 動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること腐食性ガスを含まぬこと。

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