DC電源
DPG-10/DPG-20

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DPG1020

DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。信頼性のある部品と回路で構成しております。長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
>> アルバックのDC電源 3つのメリットとは?

特長

  • 軽量・省スペース
    設置性に優れた軽量・省スペース設計。
  • 出力電圧範囲が選択可能
    800V仕様に加えて1000V仕様もラインアップ。
  • 豊富なアークハンドリング
    プラズマを熟知した豊富なアーク制御方式。
  • 冷却水不要
    強制空冷方式のため冷却水が不要。
  • 高速アーク遮断回路を搭載可能
    標準でも低アークエネルギーを実現。さらにオプションで高速アーク遮断回路を搭載可能。
  • 自由な並列運転機能を搭載可能
    DPG-10、DPG-20:オプションの並列運転機能により自由に10kWと20kWを組み合わせて最大12台までの並列運転が可能。(最大240kW)

用途

  • FPD用スパッタリング装置
  • 半導体用スパッタリング装置
  • タッチパネル用スパッタリング装置
  • 産業コーティング用スパッタリング装置

仕様

型式 DPG-10 DPG-10H DPG-20 DPG-20H
入力仕様 入力電圧 AC208V
変動範囲 AC187〜229V
相数、周波数 3相 50/60Hz
入力接続部 コネクタ接続
入力容量 13.5kVA以下 25kVA以下
出力仕様 最大定格電力 10kW 20kW
定格電流 25A 16.7A 50A 33.3A
定格電圧 800V 1000V 800V 1000V
出力極性 マイナス極性
異常放電制御 異常放電検出時にインバータ停止もしくは高速アーク遮断回路*1により遮断
出力接続部 コネクタ接続
制御 制御方式 定電力制御(P制御)/定電流制御( I 制御)/定電圧制御(V制御)
制御精度 定格出力の±1%以下
制御保証範囲 定電力制御 定格電力値の10〜100%
並列運転 マスター/スレーブ通信により最大12台まで制御可能*2
冷却方式 強制空冷
外形寸法(W×D×H) 483mm×630mm×133mm(突起部含まず)
質量 28kg 35kg
適合規格 CEおよびSEMI F47
動作周囲温度 10ºC〜 40ºC(結露なき事)
動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること腐食性ガスを含まぬこと
*1:オプション対応
*2:800V仕様と1000V仕様の組み合わせは不可

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