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DCSシリーズ

スパッタリング用DC電源
DCSシリーズ

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DCS

スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。また、異常放電防止ユニット(A2K)との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。
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特長

  • 出力制御性の向上(定格の1〜100%での運転可能)
  • タップ切替えなしで広範囲な出力範囲
  • 2種類の異常放電検出機能を標準搭載
  • アイソレーションによる外来ノイズ対策(オプション)
  • 3つの運転モード(定電力・定電流・定電圧制御)が選択可能
  • +100Vまでフローティング可能

用途

  • Al,Ni等の金属のスパッタリング用、バイアス用のDC電源として使用できます。

仕様

形式 DCS0052B DCS0202B DCS0402B
最大出力電力 500W 2kW 4kW
出力範囲 電力 5W〜500W 20W〜2000W 40W〜4000W
電圧 80V〜800V
電流 0.0012A〜1.25A 0.005A〜5A 0.1A〜10A
外形寸法 (WDH) mm 240 x 450 x 99 480 x 430 x 124
質量 9kg 22kg

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