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MFU-20K

デュアルカソード用バイポーラユニット
MFU-20K

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MFU-20K

MFU-20KはULVAC製DC電源(DPGシリーズ)に追加することにより、直流出力をバイポーラパルス出力に変換するユニットです。低コストでの歩留まり・スループットの向上を実現します。

特長

・広い周波数範囲
 10kHz~100kHzの範囲で可能 ※1
・マスター/スレーブ接続により大容量化が可能
 最大6台までの並列運転が可能
・DC出力も可能
 入力DC電源の出力をそのままカソードに印加することが可能 ※2

用途

・FPD用反応性スパッタリング装置
・産業コーティング用反応性スパッタリング装置
・カラーTFT用反応性スパッタリング装置
・スパッタリング装置全般

仕様

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