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DPG-5P/DPG-10P

DC PULSE 電源
DPG-5P/DPG-10P

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ss-DPG_10P

DPG-Pシリーズは反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。この電源は、設定した周期で出力電圧を 反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。

特長

  • 高スループット
    異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能
  • 基板ダメージの低減
    アーク起因の基板ダメージを低減可能
  • 逆パルス周波数の変更可能
    10kHz ~ 250kHzの範囲で可能
  • マスター/スレーブ接続により大容量化が可能
    最大6台までの並列運転可能(同一機種において可能)
  • DC出力も可能
    PULSE 機能を停止し、超低アーク性能なDC 電源としても使用 可能

用途

  • FPD用反応性スパッタリング装置
  • 産業コーティング用反応性スパッタリング装置
  • カラーTFT用反応性スパッタリング装置
  • 仕様

    型式 DPG-5P DPG-10P
    入力電圧 AC208V
    変動範囲 AC187~229V
    相数、周波数 3相 50/60Hz
    入力容量 8kVA 13.5kVA
    最大定格電力 5kW 10kW
    定格電流 12.5A 25A
    定格電圧 650V/800V※1
    発振周波数 10kHz ~ 250kHz
    逆パルス幅 0.4μs ~ 5μs 0.1μs刻みで選択可能※2
    制御方式 定電力制御(P制御)/定電流制御(I制御)/定電圧制御(V制御)
    制御精度 定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方
    制御保証範囲 定電力制御 定格電力値の10 ~ 100%
    並列運転 マスター/スレーブにより最大6台まで制御可能(同一機種において可能)
    外部制御 アナログ/デジタル,RS-232C,RS-485
    冷却方式 強制空冷
    外形寸法(W×D×H) 483mm×630mm×133mm(突起物含まず)
    質量 29kg 36kg
    適合規格 CE / SEMI F47 / RoHS指令

    動作周囲温度5°C~40°C(結露なき事)
    動作環境 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと
    ※1: 155kHz以上の発振周波数選択時には定格電圧は650Vとなります。
    ※2: 81KHz以上では、最大逆パルス幅は制限されます。

    カタログ[PDF]

    図面データ

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