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成膜用電源+オプション

>> アルバックの電源 3つのメリットとは?
アルバックは成膜装置向け電源と各種EBガンを提供しています。

電源

デュアルカソード用バイポーラユニット MFU-20K

MFU-20K

MFU-20KはULVAC製DC電源(DPGシリーズ)に追加することにより、直流出力をバイポーラパルス出力に変換するユニットです。低コストでの歩留まり・スループットの向上を実現します。

DC PULSE 電源
DPG-5P/DPG-10P

ss-DPG_10P

DPG-Pシリーズは反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。この電源は、設定した周期で出力電圧を 反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。

異常放電防止ユニット
A2Kシリーズ

A2K

A2K シリーズは反応性スパッタリングプロセスにおいて、直流電源にプラス電圧をパルス印加しターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。
既設装置にも簡単に取り付け可能で、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。

DC電源
DPG-10/DPG-20

DPG1020

DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。信頼性のある部品と回路で構成しております。長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。
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EB電源
HPS-Nシリーズ

HPS-N

HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。
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RF電源
RFS-Nシリーズ

RFS1310_1350

RFS-Nシリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。
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スパッタリング用DC電源
DCSシリーズ

DCS

スパッタリング用DC電源DCSシリーズは、基本的な性能はもとよりコストパフォーマンスに優れ、幅広い分野でご使用いただけるDC電源です。また、異常放電防止ユニット(A2K)との組み合わせにより、反応性スパッタリングにおいてもその威力を存分に発揮します。
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EBガン

光学用EBガン
EGP-1G

EGP-1G

EGP-1Gは、構造のシンプルな180ºビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。

金属蒸着用EBガン
EGNシリーズ

EGN-406M

EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。

蒸発用EBガン
EGK/EGL/EGOシリーズ

EGL-35M

アルバックの電子ビーム蒸着用EBガンは、すべて磁場偏向を使用しています。 また、蒸発材料からの汚染を極力防ぐ構造となっています。 ラインアップは、小容量の実験用途に向くEGKシリーズから、金属用の生産に向くEGLシリーズ、光学用のEGOシリーズと幅広く揃っています。