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TSUシリーズ

超高真空直線導入端子
TSUシリーズ

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TSU Series Ultra-High Vacuum Linear Feedthroughs

TSUシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器に手動で直線運動を導入するための端子です。大気側のハンドルを回転させると、真空側の軸がストロークします。

特長

  • 軸シールはステンレス鋼製溶接ベローズを使用しており、オールメタルのため清浄で放出ガスが少なく超高真空に最適です。
  • 回転運動を直線運動に変換する機構や、ベアリング類はすべて大気側にあり真空に対しては無潤滑です。
  • ハンドル1回転当たり1mmのストロークなので微調整が可能です。
  • 任意の位置で固定できます。

用途

  • 各種超高真空関連装置における手動回転運動の導入用として

仕様

型式 TSU-15FM TSU-15F TSU-40F
直線移動距離 15mm 40mm
移動距離/回転 1mm/回転
最小目盛単位 0.05mm 1mm
駆動軸径 M6 直径8mm
接続フランジ UFC034 UFC070
質量 0.7kg 1.2kg 1.4kg
許容リーク量 1.3×10-11 Pa・m3/s以下
許容加熱温度 150℃以下 250℃以下

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