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TDUシリーズ

超高真空回転導入端子
TDUシリーズ

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TDU Series Ultra-High Vacuum Rotary Feedthroughs

TDUシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器に手動で回転運動を導入するための端子です。大気側のハンドルを回転させると、ベローズを介して真空側の軸が回転します。

特長

  • 軸シールはステンレス鋼製溶接ベローズを使用しており、オールメタルのため清浄で放出ガスが少なく超高真空に最適です。
  • 真空中に使用しているベアリングは無潤滑で清浄です。
  • ハンドルと回転軸の回転比は1:1で、回転角度を読み取ることができます。
  • 磁石を使用していないので、漏洩磁場の心配はありません。
  • 正転・逆転のいずれの方向にも回転でき、任意の位置で固定できます。

用途

  • 各種超高真空関連装置における手動回転運動の導入用として

仕様

型式 TDU-04FM TDU-08F
内外回転比 1:1
最小目盛単位 45° 10°
駆動軸径 直径5mm 直径8mm
接続フランジ UFC034 UFC070
質量 0.4kg 1.1kg
許容リーク量 1.3×10-11 Pa・m3/s以下
ベークアウト温度 (*1) 150ºC以下 250ºC以下
*1 加熱中は回転不可。(加熱後も室温にもどるまで回転不可)

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