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CMSシリーズ

電流導入端子
CMSシリーズ

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CMS Series Electrical Feedthroughs

電流導入端子CMSシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器に電流導入および電圧印加をするための端子です。

特長

  • 10-2Paから超高真空領域で使用できます。
  • 微小電流用のBNCコネクタ式の物から、大電流(400A)用や高電圧(12kV)用など各種用意しています。
  • 耐熱性に優れ放出ガスも少なく超高真空用に最適です。
  • セラミックスとコバールの熱膨張係数の差が小さいので、ベークアウトなどの温度変化に対しても封着部はリークすることがありません。
  • 電極棒との接続はねじ固定式(一部型式を除く)なので、配線を確実に固定できます。

用途

  • 各種超高真空関連装置の電流導入・電圧印加用として

仕様

使用圧力領域 10-2Pa〜超高真空領域
許容ベークアウト温度 300℃以下
温度変化率 25℃/min以下
許容リーク量 1.3×10-11Pa・m3/s以下

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