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超高真空部品

アルバックは超高真空対応のベーカブルフランジのほか、UFCフランジを使用した各種フィッティング、銅ガスケット、ボルトセットなどを提供しています。

超高真空フランジ
UFCシリーズ

UFC Series Ultra-High Vacuum Flanges

UFCフランジは、ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空用ベーカブルフランジです。

超高真空変換フランジ

Ultra-High Vacuum Conversion Flanges

超高真空変換フランジは、UFCフランジの口径の異なるフランジを接続するものです。 (UFCフランジ:ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空用ベーカブルフランジ)

超高真空ゼロレングス覗窓
TVUシリーズ

TVU-FV Series Ultra-High Vacuum Zero Length Viewing Windows

TVU-FVシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器内を広い視野にわたり観察するための覗窓です。接続フランジは、ナイフエッジ型メタルシール方式の真空装置用ベーカブルフランジです。

超高真空回転導入端子
TDUシリーズ

TDU Series Ultra-High Vacuum Rotary Feedthroughs

TDUシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器に手動で回転運動を導入するための端子です。大気側のハンドルを回転させると、ベローズを介して真空側の軸が回転します。

超高真空直線導入端子
TSUシリーズ

TSU Series Ultra-High Vacuum Linear Feedthroughs

TSUシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器に手動で直線運動を導入するための端子です。大気側のハンドルを回転させると、真空側の軸がストロークします。

電流導入端子
CMSシリーズ

CMS Series Electrical Feedthroughs

電流導入端子CMSシリーズは、大気側から超高真空中の真空容器に電流導入および電圧印加をするための端子です。

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