Top > コンポーネント > 光学式プロセスモニタ >

光学式プロセスモニタ

光学式プロセスモニタ
Optius

s-Optius

プラズマの発光スペクトルを測定することで、さまざまなプラズマプロセスの状況をリアルタイムに監視することができます。反応性スパッタリングでのMFC制御やエッチングのエンドポイント検出などに最適です。

▲Return to Top