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DPGシリーズ

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DPG-2_web用

DPG-2およびDPG-4は2kWおよび4kW出力のスパッタリング用のDC電源です。高い制御精度により繰り返し再現性に優れ、より高い品質のプロセスを実現します。

特長

・高い制御精度
10%以下の低パワー領域でも設定値の±1%の高精度出力
・広い精度保証
 1~100%の広いパワー精度保証
・軽量・省スペース
 設置性に優れた軽量・省スペース設計。
・冷却水不要
 強制空冷方式のため冷却水が不要。
・高信頼性
 装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック

用途

・R&D向けスパッタリング装置 ・各種成膜装置のバイアス電源

仕様

データダウンロード

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