プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、包装材料、コンデンサ、磁気テープ他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。
EWAシリーズ | EWEシリーズ | EWDシリーズ | |
用途 | 包装材料、金銀糸 | コンデンサ | |
蒸発源 | 高周波誘導加熱方式 | 抵抗加熱方式 | |
基板材質 | PET、OPP、PVC、CPP他高分子フィルム、紙、金属箔等 | ||
基板サイズ(幅) | 〜3000mm | 〜670mm | |
巻取速度 | 1,000 m/min max. | 1,200 m/min max. | |
膜厚分布n | ±5%(成膜条件により変動します) | ||
膜厚モニター | 透過式モニタ、渦電流式モニタ、接触式抵抗値モニタ等 | ||
膜厚モニター | 基板加熱、AC/DCボンバード、RFボンバード等 | ||
主排気系 | 油拡散ポンプ、油拡散エゼクタポンプ |
EWEシリーズ
EWDシリーズ
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