スパッタリング装置
インライン式
横型インライン式
横型インライン式
スパッタリング装置SCH シリーズ
SCHシリーズは透明導電膜や金属膜等を成膜する横型インライン式スパッタリング装置です。太陽電池生産ラインの裏面電極膜、絶縁膜等の各種成膜プロセスに対応しています。
特長
- 数多くの量産ラインで検証された高い信頼性
- 大型基板、多品種基板に対応
- ハイレート&高効率カソードの採用
- 幅広い成膜方式に対応（デポダウン／デポアップ、DC/AC/RFスパッタ）
- メンテナンスが単純で容易
用途
- 太陽電池用透明導電膜、裏面電極膜、プリカーサ―膜、バッファー膜
