巻取式装置
巻取式スパッタリング装置SPW シリーズ
プラスチックフィルムに光学膜やメタル等の多層成膜可能な装置です。成膜室間で雰囲気分離を施し、高機能多層膜を一括成膜可能です。
特長
- プロセスや生産性に応じてモジュールの選択が可能となります。
- 優れた雰囲気分離性能とプロセスの最適化により高品質な成膜が可能となります。
- カソードタイプは用途に応じプレーナーとロータリーを選択できます。
用途
- タッチパネル用配線膜、透明導電膜およびインビジブル膜他
- FPC用電極膜
仕様
| SPW-030 | SPW-060 | SPW-165Cn | |
| Target Material | ITO, Nb2O5, SiO2, Cu and Metal | ||
| Web Material | PET,PEN,PI,PC,COP,TAC | ||
| Web Width | Max300mm | Max750mm | Max1600mm |
| Number of Cathode | ４ | ８ | 8×n |