巻取式装置

巻取式真空蒸着装置
EWAシリーズ

高周波誘導加熱方式を用いプラスチックフィルム、紙、金属箔等に、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。

特長

・最新の巻取制御技術により、基材・サイズに応じた搬送を可能にしています。
・プロセス条件を最適化する為に各種前処理／後処理機構を取り揃えております。
・透過式膜厚モニタ・渦電流式膜厚モニタ・抵抗値モニタなどのオンライン測定機構を搭載可能です。

・包装材料
・透明ガスバリア
・金銀糸