その他
バッチ式ドライエッチング装置ULDEX-1600
ULDEX-1600は太陽電池シリコン基板で、エッチングガスを導入し高周波パワーにて表面凸凹構造を形成するプロセスを提供する装置です。シリコン基板表面に低反射となる凸凹構造を形成することにより、太陽電池セルの光吸収を向上させ、セル変換効率の向上に寄与することができます。
特長
- 高スループット: 4000pcs./hr
- シンプル構造: チャンバー内駆動レス
- シンプルメンテナンス
用途
- 単結晶Si基板
- 多結晶Si基板
- Mono-like Si基板
仕様
| ULDEX-1600 | ||
| Waferサイズ (mm) | □156 | |
| Tray搭載枚数 (□156mm) | 100pcs. | |
| 部屋構成 | 1) プロセス室 | 2室 |
| 2) 移載機 | オプション | |
| スループット | 4000 (ULVAC標準条件) | |