放出ガス測定装置 TDS-2001|その他|製品紹介|アルバック
その他

放出ガス測定装置TDS-2001

本装置は小試料対応の放出ガス分析装置です。半導体プロセスやディスプレイ等、様々な分野にてご使用頂けます。新材料の開発用途に最適です。

特長

  • 2インチまでの基板に対応
  • TDS法(Thermal Desorption Spectroscopy)の 採用により、高精度なガス分析が可能
  • 流路切替法(SPP法:Switching between two Pumping Pass:弊社特許)の採用により、高精度放出ガス量分析が可能
  • 独自のUHV表面処理SUSPikaにより装置からのアウトガスを低減
  • 感度較正機能により優れた再現性を実現測定したデータの加工とグラフ化が容易(データ解析ソフトORIGINを装備)

用途

  • 新材料の開発用途

仕様

対応基板 2インチ
測定感度 6.7 × 10-8Pa•m3/s以下
基板加熱温度 最高 1000ºC
加熱速度 1〜100ºC/min
温度分布 600ºC ± 3ºC
測定質量数 1〜200
試料搬送 手動
試料導入個数 1個/バッチ
スループット 基本構成において40分
データ処理 基本構成において40分
到達圧力 5.0 × 10-7Pa以下
測定手法 流路切替法、TDS法

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