実験用小型エッチング装置 CE-L|エッチング装置|製品紹介|アルバック
エッチング装置

実験用小型エッチング装置 CE-L

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。タッチパネル操作により基板搬送、真空排気、エッチング処理の自動制御が可能で機電一体型のコンパクト設計を実現しています。

特長

  • 標準で5段大気カセット室を装備し、あらかじめセットした複数のトレイを自動でプロセス処理可能
  • プロセスはタッチパネルでのレシピ入力可能
  • 並行平板 (Rタイプ) 標準、ICP (Iタイプ) のオプションを採用できます。

用途

  • 研究開発

仕様

装置構成 大気カセット + 大気搬送 + エッチング室
搬送機構 圧空式マニピュレーター (大気搬送)
対応基板サイズ Φ150mm x 1 枚
プラズマ方式 平行平板 (CCP), (ICP方式はオプション)

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました