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CVD装置

ETP-CVD装置ULGLAZE シリーズ

ULGLAZEシリーズは、モノマーとO2を使ってポリカーボネート上に耐傷付き性、耐摩耗性成膜を行うエキスパンディング サーマル プラズマCVD装置です。

特長

  • 低温プロセスにより樹脂に対応
  • 従来PE-CVDの約30倍の成膜レートが得られる高速成膜プロセス
  • ガラス並みの優れた耐摩耗性
  • 透過性のある膜で低いヘイズ値を実現
  • 着き回り性が良く、3次元形状部品への成膜が可能

用途

  • フロントガラス以外の自動車用窓

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