検知ガスとしてヘリウムを使用したリークテスト装置です。 独自技術を用いた新機構を盛り込み、高速処理が可能で更に省スペースを実現した、自動ヘリウムリークテスト装置です。
※こちらの製品は、現在、海外グループ会社で「QYHシリーズ」として製造を行っております。
システム感度 | 1.0×10-7Pa • m3/s | |
チャンバサイズ | Φ340×H500(45L) | |
真空排気システム | 本引排気系 | PRC-012A+(EC-803×2) |
テストシステム | ヘリウムリークディテクタ | HELIOT-ZERO |
処理能力 | 40sec/1chamber(マシンタイム) | |
ユーティリティ | 電源 | AC200V20KVA |
ヘリウムガス | 0.1~0.9MPa | |
圧縮空気 | 0.5MPa | |
冷却水 | 0.18m3/h(15ºC~30ºC) | |
Options | ヘリウム自動封入機構 | |
ヘリウムガス封入・回収機構 | ||
ヘリウムガス混合封入・回収機構 | ||
N2・ドライエア高圧発生機 | ||
搬送系 |
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