検知ガスとしてヘリウムを使用したリークテスト装置です。マイクロセパレータを利用したヘリウムリークディテクタを使用し、低真空下(100〜200Pa)でのヘリウムリークテストが可能なコンバクトな装置です。
※こちらの製品は、現在、海外グループ会社で「QYHシリーズ」として製造を行っております。
システム感度 | 1.6×10-5Pa • m3/s (0.01cc/min) | |
チャンバサイズ | W500×D350×H400 (70L) 手動開閉方式 | |
真空排気システム | 本引排気系 | EC-803 |
テストシステム | ヘリウムリークディテクタ | HELIOT-100シリーズ |
処理能力 | 60sec/1chamber(マシンタイム) | |
ユーティリティ | 電源 | AC200V10KVA |
ヘリウムガス | 0.1~0.9MPa | |
圧縮空気 | 0.5MPa | |
オプション | ヘリウムガス封入・回収機構 | |
ヘリウムガス混合封入・回収機構 | ||
N2・ドライエア高圧発生機 |
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