第65回 International Electron Devices Meeting (IEDM2019)でIBMと共同で新しいメタルゲート技術を発表します

2019年11月27日 株式会社アルバック

株式会社アルバックとIBMは、サンフランシスコで開催される第65回International Electron Devices Meeting (IEDM2019)において、次世代ロジックデバイス用に開発した新しいメタルゲート技術について発表します。

発表題目:「Ultra-scaled Conformal Scavenging Electrode with Superior Tunability for Short-channel RMG FinFET Workfunction
and all-ALD 3D-compatible ReRAM」
発表日時:2019年12月11日 午後2:50(Session 36)

関連外部サイト

IEDMについて(英語サイト)
https://ieee-iedm.org/
講演スケジュールとアブストラクトについて(英語サイト)
https://ieee-iedm.org/wp-content/uploads/2019/10/session-36.pdf/
   


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