英国Oxford Instruments社とアルバックのコラボレーションによる国内パワーデバイス及びRFデバイス市場へのAtomic Scale Processing Solutionを提供

2019年1月16日 株式会社アルバック

株式会社アルバック(本社:神奈川県茅ヶ崎市、代表取締役執行役員社長:岩下節生、以下「アルバック」)は、Oxford Instruments Plasma Technology部門(Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited 本社:英国オックスフォード、CEO:Dr. Ian Barkshire、以下「Oxford社」)と、重要なコラボレーションとして日本における販売代理店契約を締結しましたのでお知らせいたします。このたび、GaN及びSiCベースのワイドバンドギャップを必要とするデバイス市場のお客様へ、Oxford社の最先端ALD成膜装置(原子層堆積装置)及びALE装置(原子層エッチング装置)の販売を開始いたします。

「Oxford社はアルバックとのコラボレーションにとても期待しており、実績のあるAtomic Scale Processing Solutionを日本のパワーデバイス及びRFデバイス市場に提供して参ります」
(Oxford Instruments Plasma Technology Managing Director Mike Gansser-Potts氏)

「非常に大きな意味をもつコラボレーションです。今回のコラボレーションでは、アルバックの保有するラインアップを補完するOxford社のALD/ALEプロセス技術とノウハウが重要です。日本国内のお客様へより完成されたソリューション提供が可能になります」
(アルバック 執行役員 電子機器事業部長 島田鉄也)

Oxford社Atomic Scale Processing Solution

Oxford社のAtomic Layer Deposition(ALD)とAtomic Layer Etch(ALE)は、機能性と信頼性を兼ね備えたデバイス製造を可能にするうえで、GaN及びSiCベースデバイスの重要プロセスステップです。
ワイドバンドギャップを必要とするデバイス業界において、十年以上にわたって得られた確かな知見と専門性により、Oxford社は日本のお客様に最先端テクノロジーを提供する体制を整えております。

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Oxford社のALD 成膜装置

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Oxford Instruments Plasma Technology

Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited 本社:英国
Oxford社は、英国オックスフォード大学からのスピンアウト企業として1959年にオックスフォードの地で創業しました。3年後には世界発の超電導マグネットの製品化に成功し、以来半世紀にわたり極低温・高磁場・核磁気共鳴・X線検出技術を駆使した計測・分析装置や先端的成膜・エッチング装置等による革新的なテクノロジー・ソリューションを世界各国の企業や大学・研究所の皆様にお届けしています。近年、最先端技術を搭載した原子間力顕微鏡や超高感度デジタルカメラ技術でのソリューションも拡充し、物性物理・材料から生命科学や地球科学まで、幅広い分野に事業を展開しています。

関連WEBSITE:https://plasma.oxinst.com/



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