ドライ真空ポンプLSシリーズを開発 -高速排気と低消費電力を両立-

2017年8月31日 株式会社アルバック

株式会社アルバック(本社 神奈川県茅ヶ崎市、代表取締役執行役員社長 岩下節生、以下アルバック)はこのほど、ドライ真空ポンプ「LSシリーズ」を開発しました。2018年1月より発売開始しますので発表いたします。

【背景】

ドライ真空ポンプは、主に電子部品やディスプレイ等の様々な製造ラインで使われています。環境への配慮から消費電力が低いドライ真空ポンプが主流となっています。しかし、一般的な低消費電力型ドライ真空ポンプは、大気圧付近の排気速度が小さく、排気時間が長くなるという課題がありました。

【概要】

アルバックは、この課題を解決する為に高速排気と低消費電力を両立させたドライ真空ポンプ「LSシリーズ」を開発しました。大気圧付近の排気速度を大きくする事で、高速排気(排気時間の短縮)を実現しつつ、これまでに培った独自技術により消費電力を低減しています。

2018年1月より、最大排気速度120~1200m3/hの4機種の高速排気・低消費電力ドライ真空ポンプ「LSシリーズ」をラインアップします。装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

【特徴】

■高速排気

新たに開発した独自構造(特許申請中)により、大気圧付近の排気速度が大きくでき排気時間の短縮を可能にしました。

一般的な低消費電力型ドライ真空ポンプに比べて約20%の排気時間短縮を可能にしました。

■低消費電力

高速排気を実現しつつ、到達圧力時の消費電力は業界トップクラスの0.6kW以下を達成しました。

■低騒音

専用サイレンサーを内蔵し、60dB(A)以下を実現しています。

【製品写真】

【販売価格および目標】

ドライ真空ポンプ「LSシリーズ」の販売価格は、150万円~を予定しています。販売台数は初年度に200台、2019年度に1500台を見込んでいます。

なお、今回発表したドライ真空ポンプ「LSシリーズ」は、2017年9月6日(水)~9月8日(金)にパシフィコ横浜(展示ホールD)で開催される「VACUUM2017 真空展」のアルバックブース(ブースNo.V-114)で実機展示を行います。

 


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