厳しい環境下でも長寿命で高精度を維持可能な電離真空計
「G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2」を開発、製品化
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2015年9月3日 株式会社アルバック

株式会社アルバック(本社 神奈川県茅ヶ崎市、代表取締役執行役員社長 小日向久治、以下アルバック)はこのほど、厳しい環境下であっても、長寿命で高精度を維持可能なトランスデューサタイプの電離真空計「G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2」を開発、製品化し、2015年10月より販売いたします。

【背景】

真空空間には、環境によっては様々な気体分子が存在することがあり、真空計にとって厳しい環境下で計測を行うことも決して少なくありません。その結果、真空計測定子の寿命(汚れによる短寿命、放電し難い、交換頻度の増加など)や精度(感度のばらつき、誤差など)でお困りとの声をよく耳にします。これらの主原因として挙げられるのが、
・各種真空プロセス中に発生する放出ガス
・ワーク(サンプル)から発生する放出ガス
・真空チャンバ加工時の切削油や洗浄液の残渣
・真空チャンバ内の配線材、移動機構、モータなどからの放出ガス
などであり、これらによって真空計の測定子が汚染され、フィラメントの短寿命、感度の低下、エミッション電流の停止、放電の停止などの問題が引き起こされます。この様な問題を回避するためには、定期的に測定子を交換することが必須です。この頻度が多いほど、
・消耗品である測定子のランニングコストの増大
・測定子交換時の生産ライン(システム)ストップによる損失
・測定子交換に関わる手間の増大
により、無駄なコスト・時間が発生してしまうことになります。

【概要】

アルバックは、この様な状況を踏まえ、単位面積当たりのイオン電流値を抑えることにより、イオンコレクタへの負担を軽減し、さらにイオン化する空間の電位が一様となる構造の電離真空計を開発しました。これにより、電離真空計にとって厳しい環境でもより長い時間(当社比30倍以上)、精度よく測定することが可能となりました。お使いの各種真空装置のランニングコストやダウンタイムの低減、歩留まりの向上に、大幅に寄与できるものと考えております。

【特長】

この新型電離真空計「G-TRANシリーズST2」の特長は下記の通りです。

アルバック独自の電極構造
⇒ 感度が安定して精度も良く、長寿命(当社比較30倍以上)
ランニングコストの低減が可能
小型金属管球
⇒ ⇒取付スペースの削減と測定子破損の心配は不要
マルチイオンゲージタイプセンサユニット
⇒ピラニ真空計ユニットおよび大気圧センサの接続により制御信号の削減が可能

【仕様】

・標準仕様:ST2-1、シリアル通信仕様:ST2-2
・測定範囲:10Pa~1E-5Pa(ピラニ真空計、大気圧センサとの連動可能)
・測定子仕様:小型金属管球、フィラメント材:Ir/Y2O3コーティング
・DEGAS機能:電子衝撃脱離方式

【製品写真】

「G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2」

【販売目標および販売価格】

 初年度販売台数目標 500台、2017年度販売台数目標 5,000台
販売価格 12万円~(消費税抜き)

なお、今回発表した「G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2」は、2015年9月8日(火)~9月10日(木)にパシフィコ横浜で開催される「Vacuum 2015 真空展」のアルバックブース(Booth V-101)で実機展示を行います。

 

お問い合せ
株式会社アルバック 規格品事業部PM1部 compo_j
TEL:0467-89-2410/FAX:0467-68-4213関連Webサイト:
https://www.ulvac.co.jp/
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