セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ「UTM300B」を販売開始-コントローラ一体型で省スペース、取付け方向自由自在-

2014年9月16日 株式会社アルバック

 株式会社アルバック(本社 神奈川県茅ヶ崎市、代表取締役執行役員社長 小日向久治、以下アルバック)はこのほど、排気速度280L/secのセラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ「UTM300B」を、2014年10月1日より販売開始しますので発表いたします。

【背景】

 ターボ分子ポンプは、高真空~超高真空を作るために用いられる真空ポンプで、研究開発から製造ライン向けに広く使われています。
当社はこれまで、ピボット軸受型の小型タイプ、磁気軸受型の中~大型タイプをラインナップしてまいりましたが、ターボ分子ポンプの用途が多様化していく中で、取り付け方向が自由である事、より小型である事、補助ポンプも小型にできる事、等のニーズに対応するため、この度セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ「UTM300B」を製品化しました。

 

【概要】

セラミック玉軸受を採用した排気速度280L/secのターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。取付け方向に制限が無く、優れた高背圧特性により、補助ポンプの小型化も可能になりました。

【特長】

新製品の特長は以下の通りです。

1. 取り付け方向に制限がありません。
2. コントローラがポンプ本体と一体になっているため、省配線と排気系の小型化に有効です。
3. 吸気口と排気口の圧縮比が高く、高背圧運転が可能なため、補助ポンプの小型化が可能です。
4. 吸気口フランジはVG100,ICF152,ISO100-Kの3種類から選択が可能です。
5. 無負荷運転時の騒音は50dB以下と静かです。(ISOフランジ型、当社測定値)
6. CEとNRTLの海外規格に適合しています。

【製品写真】

UTM300B
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプ UTM300B

 

【販売目標および販売価格】

販売価格 120万円 〜 130万円
初年度販売目標:100台

2014年10月15日(水)~17日(金)に東京ビッグサイトで開催される「真空展2014」のアルバックブース(東京ビッグサイト 東ホール ブースNo.V-033)で実機展示を行います。

 

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