高速分光エリプソメータ『UNECSシリーズ』に新製品を追加
-ユニークなポータブルタイプも新登場!-

2014年3月14日 株式会社アルバック
 株式会社アルバック(本社 神奈川県茅ヶ崎市、代表取締役執行役員社長 小日向久治、以下アルバック)は、このほど、薄膜の膜厚や光学定数を高速測定する分光エリプソメータ「UNECS」(ユネクス)シリーズに5機種の新製品を追加し、2014年3月10日より販売開始しましたので発表いたします。

【背景】

 分光エリプソメータは光の偏光状態の変化を利用し、透明または半透明薄膜の膜厚や光学定数(屈折率や消衰係数)を非接触で高精度に測定する測定器です。半導体やフラットパネルディスプレイをはじめ、多くの分野で使用されており、当社では、2010年より高速測定とコンパクト化を実現させた200mm電動ステージモデル「UNECS-2000」及び300mm自動ステージモデル「UNECS-3000A」の2機種を販売しております。

【概要】

今回追加された新製品は、

1. 持ち運び可能なポータブルタイプの「UNECS-Portable」
2. 150mm手動ステージを備えた「UNECS-1500M」
3. 150mm自動ステージを備えた「UNECS-1500A」
4. 200mm自動ステージを備えた「UNECS-2000A」
5. 成膜装置などへ組み込める「UNECS-1M」

の5機種です。また、測定波長の拡張(380nm〜760nm)や小径スポット(φ0.3mm)の追加など、仕様面も強化しておりますので、ユーザーの用途に最適な製品を選択する事ができます。

【特長】

新製品の特長は以下の通りです。

1. 「UNECS-Portable」
測定部の重量がわずか2.2kgと軽量・コンパクトなポータブルタイプです。小型サンプル用に簡易的な固定ステージが付属していますが、ステージを取り外せば大型のサンプルでも測定する事ができます。専用のキャリーケース(オプション)を用意していますので、成膜装置の膜厚評価用ツールとして持ち運ぶ際にも便利です。
2. 「UNECS-1500M」
φ150mm対応の操作性の良いR-θ式手動ステージが付属したベーシックタイプです。サンプルの測定位置決めを手動で簡単に行う事ができます。
3. 「UNECS-1500A/2000A」
φ150mm/φ200mm対応の自動R-θステージが付属し、基板内の膜厚分布を自動で測定し、カラーマップ表示をする事ができます。2,000点の高精度マッピング機能や3D表示、観察カメラなどオプションも充実しています。
4. 「UNECS-1M/1MV」
成膜装置へ組み込めるビルトインタイプです。大気タイプのほか、真空環境に設置できる真空タイプも用意しています。
5. 可視光域も対応
すべての機種で測定波長を標準タイプ(530nm〜750nm)と可視分光タイプ(380nm〜760nm)から選択する事ができます。また、スポット径も標準タイプ(φ1mm)と小径タイプ(φ0.3mm)から選択できます。(真空ビルトインタイプを除く)

【製品写真】

20140314

【販売目標および販売価格】

 高速分光エリプソメータ「UNECS」シリーズの販売目標は年間30台、販売価格はポータブルタイプ:700万円〜、手動ステージタイプ:800万円〜、自動ステージタイプ:950万円〜、装置ビルトインタイプ:680万円〜となっております。

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