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生産終了と製品保守のお知らせ

弊社製品に関わる、保守メンテナンス、販売および生産終了などの情報を開示いたします。
ご不明な点に関しましては個々のご案内の文末に掲載されている連絡先へお問合せください。

保守メンテナンス

2011年11月30日 『オイルミストトラップを安全にご使用いただくために』
2010年8月16日 真空計の国際MRA/JCSS認定校正事業者に認定されました
2010年2月5日 『油拡散エゼクタポンプオイルB-50K』販売終了と後継オイルについてのご案内
2010年2月2日 『超高真空計GI-N8』の販売終了のご案内
2009年9月15日 『ORIGIN製品の販売・サポート業務終了と業務移管のお知らせ』
2009年7月1日 『高周波利用設備申請のご案内』
2009年2月27日 Veeco社製 触針式表面形状測定器『Dektak Vシリーズ／Dektak OSPシリーズ』
サービスパーツ供給終了のご案内
2009年2月10日 『ピラニ測定子 WPシリーズのRoHS対応品のご注意』
2009年1月5日 『油拡散ポンプ ULKシリーズヒーター交換作業のご注意』
2008年11月25日 『電気・電子コンポーネントに関する予防保全について』
2008年8月22日 Veeco社製 触針式表面形状測定器『Dektak3シリーズ』サービスパーツ供給終了のご案内
2008年6月26日 『リークディテクタHELIOT700シリーズ タッチパネル無償交換・修理の連絡』
2008年6月16日 『弊社校正リークの輸送時の問題に関するご報告』
2008年5月19日 『弊社ポンプ搭載のモータに関する製品安全情報のご連絡』
2007年8月2日 FADM/CRTM旧機種用　ELパネル供給終了のお知らせ
2007年2月15日 スパッタイオンポンプコントローラ
GST-07Lの販売開始とGST-03L販売終了のご案内
2006年6月6日 真空管式電子ビーム蒸着用電源の保守部品供給終了のお知らせ
2006年3月10日 アルバックコンポーネント修理/点検作業依頼書兼汚染証明書のご案内
2006年2月21日 『ターボ分子ポンプ UTM-150/UTM-300 無償交換・修理依頼のご連絡』
2006年2月7日 真空計(G-TRAN/OCTIE)の標準付属コネクタ変更のご案内
2005年2月18日 旧CRTMシリーズオプションパーツ製造・販売終了のご案内
2005年1月28日 真空管式電子ビーム蒸着用電源　保守パーツ供給終了のご案内
2004年10月19日 電離真空計　GI-TL3/GI-TL3RYの無償修理のご連絡
2004年9月3日 ガス分析計用セラトロン供給終了のご案内
2003年11月25日 Veeco社製 触針式表面形状測定器『Dektakシリーズ』
一部製品のサービスパーツ供給終了のご案内

販売および生産終了

日程 商品名 型式 備考
2012年1月 触針式表面形状測定器 Dektak 150 販売終了
代替機種
DektakXT
2011年10月 ターボ分子ポンプ UTM-Mシリーズ（UTM-300M/UTM-500M/UTM-1500M） 販売終了
代替機種
UTM-FWシリーズ
2011年10月 EB電源用真空管 E3072（HPS-1610F用） 販売終了予定2011年12月
2011年6月 油回転真空ポンプ D-(D)Kシリーズ（D-330K/D-650K/D-950K/D-330DK/D-650DK/D-950DK） 在庫限り販売
代替機種
VDシリーズ
2011年6月 触針式表面形状測定器 Dektak 8 販売終了
2011年3月 メカニカルブースターポンプ PMB‐Bシリーズ（PMB-040B/PMB-060B） 販売終了
代替機種
PMB-040C/PMB-060C
2011年3月 自動エリプソメータ ESM1T/1AT 販売終了
2011年2月 ドライ真空ポンプ ERシリーズ（ER80/ER150/ER400/ER600/ER1200） 販売終了
代替機種
LRシリーズ
2011年1月 DC電源 DCLシリーズ（DCL-100DUAL/DCL-600/DCL-1000） 販売終了
2010年9月 ピンポイントピラニ真空計用測定子 WP-1100A/1100B/
1100C/1100D/1100E		 販売終了
フィラメントの張替えは可能
2010年8月 オイルミストトラップ TMX-40/TMX-60/TMX-80/TM-80 販売終了
2010年6月 油回転真空ポンプ ECシリーズ(EC403/EC603/EC803) 在庫限り販売
代替機種
VDシリーズ
2010年4月 四重極質量分析計 STANDAM・ST-400 販売終了
代替機種 HGM-302
2010年4月 反応性ガス対応プロセスガスモニタ REPROS・RE-342/402 在庫限り販売
代替機種 Qulee RGM
2010年4月 高分解能四重極質量分析計 HIRESOM-2SM  
2010年2月 油拡散エゼクタポンプオイル B-50K 在庫限り販売
後継オイル
ULVOIL_B-6
2010年2月 超高真空計 GI-N8 販売終了
代替機種
AxTRAN
GI-M2
GI-D7
2009年12月 データ解析テクニカルグラフソフトウェアORIGIN Origin8 販売終了
2009年9月 キャパシタンスマノメータ CCMT-A/CCMH-A 在庫限り販売
代替機種 CCMT-D
2009年9月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-9000 販売終了
代替機種 CRTM-9000G
2009年3月 水晶発振式成膜コントローラ用オシレータ OSC-12D 販売終了
代替機種 OSC-12DG
2009年3月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000 販売終了
代替機種 CRTM-6000G
2009年3月 油回転式真空ポンプ D-240DK 販売終了
代替機種 VD151
2008年12月 多変量解析ソフトウェア ThinkSTAT   在庫終了につき
弊社での販売終了
2008年12月 極高真空対応プロセスガスモニタ SEPION SE-100 販売終了
代替機種 Qulee HGM
2008年12月 残留ガス分析計/プロセスガスモニタ STANDAM ST-200 在庫限り販売
代替機種 Qulee HGM
2008年12月 リークディテクタ HELIOT700シリーズ 販売終了
後継機種 HELIOT710シリーズ
2008年10月 水晶発振式成膜コントローラ用オシレータ OSC-12B 販売終了
代替機種 OSC-12BG
2008年9月 G-TRANディスプレイユニット ISP1/ISM1 販売終了
代替機種 ISG1
2008年9月 G-TRANディスプレイユニット ISP2/ISM2 在庫限り販売
代替機種 ISG1
2008年9月 セラミックキャパシタンスマノメータ用コントローラ GM-1000 販売終了
代替機種 ISG1
2008年9月 広帯域真空計OCTIEセンサユニット/ボックスユニット SO1/BO1 在庫限り販売
代替機種 SW1
2008年9月 広帯域真空計OCTIEディスプレイユニット ISO2 在庫限り販売
代替機種 ISG1
2008年8月 アナログ電離真空計 GI-TL3/TL3RY 販売終了
代替機種GI-D7
2008年7月 小型分圧モニタ MALIN 販売終了
代替機種Quleeシリ－ズ
2007年12月 触針式表面形状測定器 Dektak 6M 販売終了
代替機種 Dektak 150
2007年12月 ピラニ真空計測定子 WPB-10-070  
2007年4月 アナログピラニ真空計 GP-2A/2ARY 後継機種
GP-2G/2GRY
2007年4月 デジタルピラニ真空計　 GP-2001/2002 後継機種
GP-2001G/2002G
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-1500/1500C用パワーサプライ 「T8」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-500/500C/500M用パワーサプライ 「T8」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-300/300C/300M用パワーサプライ 「T8」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-150/150C用パワーサプライ 「T8」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年3月 ターボ分子ポンプUTM-50用パワーサプライ 「T6」 RoHS対応「T9」バージョンに改良変更
2007年2月 残留ガスモニタ REGA 後継機種
Qulee BGM
2006年12月 ターボ分子ポンプUTM-3500D用パワーサプライ 「D2」 RoHS対応「D3」バージョンに改良変更
2006年12月 ターボ分子ポンプUTM-6300FH用パワーサプライ 「D1」 RoHS対応「D3」バージョンに改良変更
2006年12月 ターボ分子ポンプUTM-FHシリーズ用パワーサプライ 「D1」 RoHS対応「D3」バージョンに改良変更
2006年12月 ターボ分子ポンプUTM-FWシリーズ用パワーサプライ 「D1」 RoHS対応「D3」バージョンに改良変更
2006年7月 アナログピラニ真空計 GP-1S/1SRY 後継機種
GP-1G/1GRY
2006年7月 真空バルブ VSHCシリーズ 販売終了
2006年6月 真空バルブ VLHCシリーズ 後継機種
VLH-US-KF
VLH-U,US
2006年6月 真空バルブ VLPCシリーズ 後継機種
VLP-US-KF
VLP-U,US
2006年5月 デジタルピラニ真空計 GP-1000 後継機種
GP-1000G
2005年9月 G-TRANシリーズアナログディスプレイ IAP2  
2005年6月 マスフィルタ型質量分析計 MSQ-400  
2005年1月 電離真空計　測定子 WIN-G1/G2/G3 後継機種
WIN-G5/G6/G7
2004年11月 ガイスラー測定子 ø18/15
2004年10月 KUO型電離真空計　測定子 WI-K 在庫に限り販売
2003年12月 RF電源 RFS-Cシリーズ 　
2003年12月 マッチングボックス MBX-Cシリーズ 　
2003年12月 オートマッチングコントローラ AMC6D 　
2003年12月 RF操作パネル RFPシリーズ 　
2003年12月 触針式表面形状測定器 Dektak OSP-1100 　
2003年11月 触針式表面形状測定器 Dektak Vシリーズ 　
2003年3月 ヘリウムリークディテクタ HELIOT300シリーズ 　
2003年3月 ドライポンプ PDR-060CL(H),090CL(H),180C 　
2002年12月 EB電源 HPS-1600 　
2002年12月 触針式表面形状測定器 Dektak 3シリーズ 　
2002年9月 デジタル電離真空計 GI-1000 　
2002年7月 L型バルブ（AL） VLPA,VULPAシリーズ 　
2002年4月 異常放電モニタ ARQUEST D-1000 　
2001年9月 ターボ分子ポンプ UTM-300FWシリーズ 　
2001年9月 ターボ分子ポンプ UTM-700FWシリーズ 　
2001年5月 電離真空計 GI-D6 　
2001年4月 ターボ分子ポンプ UTM-1200FWシリーズ 　
2001年4月 ターボ分子ポンプ UTM-2200FWシリーズ 　
2001年4月 ターボ分子ポンプ UTM-3300FWシリーズ 　
2001年1月 超高真空計 GI-N7 　
2000年10月 電離真空計 GI-M 　
2000年10月 バリアブルリークバルブ VLP-2 　
2000年7月 マスフィルタ型ガス分析計 MASSMATE-200 　
2000年4月 ピラニ真空計 GP-1SSW 　
2000年1月 DC電源 DCS1002B 　
2000年1月 EB電源 HPS-500 　
1999年12月 デジタルピラニ真空計 GP-1020 　
1999年12月 ピンポイントピラニ真空計 GP-1100 　
1999年11月 自動エリプソメータ ESM-1/1A 　
1999年10月 オートマッチングコントローラ AMC5AR 　
1999年8月 ピラニ真空計 GP-2DA 　
1999年4月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-7000,8000 　
1999年2月 触針式表面形状測定器 Dektak 8000 　
1998年11月 EB電源 HPS-510L 　
1998年11月 EB電源用Y軸電源 YPS-004 　
1998年1月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-5000 　
1997年12月 マスフィルタ型ガス分析計 MASSMATE-100シリーズ 　
1997年12月 ドライポンプ PDR-090B 　
1997年11月 DC電源 DCS0402A8 　
1997年10月 触針式表面形状測定器 Dektak FPD-500,650 　
1997年9月 DC電源 DCS1002C 　
1997年7月 DC電源 DCS0420A6 　
1997年5月 異常放電防止ユニット A2KF-50 　
1997年5月 EB電源 HPS-1000C2 　
1997年1月 マスフィルタ型ガス分析計 MSQ-101 　
1997年1月 キャパシタンスマノメータ CCM-10000,CCMT-10000 　
1996年11月 EB電源 HPS-1000C 　
1996年9月 DC電源 DCS0202A 　
1996年9月 DC電源 DCS0202A6 　
1996年9月 DC電源 DCS0202A8 　
1996年8月 EB電源 HP-510C 　
1996年6月 超高真空用覗窓 TVU-FZシリーズ 　
1996年5月 EB電源 HPS-1610F 　
1996年5月 DC電源 DCS1002A 　
1996年4月 DC電源 DCS1001A 　
1996年3月 ヘリウムリークディテクタ DLMS-55 スーパーターボ 　
1996年3月 EB電源 HP-1010SG 　
1995年12月 ヘリウムリークディテクタ DLMS-33シリーズ(33,33A,33L,33DYS)
DLMS-55 スーパー
DLMS-SFシリーズ(SF,SF2)
DLMS-QRT,QRT/TWIN TURBO
QRT-1		 　
1995年11月 超高真空計 GI-N5 　
1995年11月 ドライポンプ PDR-090A,AD 　
1995年11月 触針式表面形状測定器 Dektak FPD-450 　
1995年10月 EB電源 HPS-1000 　
1995年8月 ヘリウムリークディテクタ DLMA-TP3シリーズ(TP3,TP3E,TP3F) 　
1995年6月 全金属製超高真空バルブ VUH-1001C 　
1995年6月 回転導入端子 TDU-12F 　
1995年6月 チタンゲッタポンプ PGT-12F 　
1995年6月 アルタインシリーズ ガスケット・ボルトを除く全アルタインシリーズ 　
1995年6月 ソープションポンプ PSM-10
PSM-20B		 　
1995年2月 異常放電防止ユニット A2K-ASK25 　
1994年6月 EB電源 HP-1010F 　
1993年5月 触針式表面形状測定器 Dektak 2A,3030シリーズ 　
1993年3月 高真空ゲートバルブ VAT(P)-Uシリーズ 　
1992年12月 オートマッチングコントローラ AMC5DR 　
1992年9月 YTPシリーズ YTP-Aシリーズ 　
1992年7月 チタンゲッタポンプ用電源 GGT-1 　
1992年2月 触針式表面形状測定器 Dektak 16000 　
1991年10月 油回転真空ポンプ EC402,602,801 　
1991年3月 ビームスイープコントローラ PSG-004 　
1991年2月 EB電源 HP-1010FS 　
1990年9月 マスフィルタ型ガス分析計 MSQ-150A 　
1990年6月 ターボ分子ポンプ UTM-3000シリーズ 　
1990年4月 水晶発振式成膜コントローラ CRTM-1000 　
1990年1月 KUO型電離真空計 GI-K 　
1989年3月 油回転真空ポンプ D-330,650,950
D-330D,650D,950D		 　
1984年12月 マスフィルタ型ガス分析計 MSQ-300 　
1979年3月 高真空ゲートバルブ VAT-10シリーズ 　

お問合わせ先

株式会社アルバック　規格品事業部 compo Info

東日本営業部 TEL:03-5218-5708/FAX:03-5218-5711
西日本営業部 TEL:06-6397-2286/FAX:06-6397-1171