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製品・サービス

装置装置

製品別
スパッタリング装置スパッタリング装置  CVD装置CVD装置  真空蒸着装置真空蒸着装置  蒸着重合装置蒸着重合装置 アッシング装置アッシング装置 
エッチング装置エッチング装置  イオン注入装置イオン注入装置 アニール装置アニール装置  真空炉真空炉  巻取り装置巻取り装置
凍結真空乾燥装置凍結真空乾燥装置 真空蒸留装置真空蒸留装置  ヘリウムリークテスト装置ヘリウムリークテスト装置 その他その他
用途別
半導体プロセス (FEOL/BEOL)半導体プロセス (FEOL/BEOL)  半導体プロセス(不揮発性メモリ)半導体プロセス(不揮発性メモリ)  LEDデバイスLEDデバイス 
パワーデバイスパワーデバイス  実装実装 MEMSデバイスMEMSデバイス 光学膜光学膜  磁気デバイス磁気デバイス 二次電池二次電池 
LCDLCD  OLEDOLED  タッチパネルタッチパネル ディスプレイ用研究開発装置ディスプレイ用研究開発装置  太陽電池太陽電池  磁石磁石 
自動車部品自動車部品 配線材料配線材料  コンデンサコンデンサ 包装材料包装材料 加飾加飾 医薬品医薬品 食品食品
ヘルスケアヘルスケア エレクトロニクス材料エレクトロニクス材料 機能性材料機能性材料 航空機航空機 送電機器送電機器 家電家電

コンポーネントコンポーネント

ドライ真空ポンプドライ真空ポンプ  油回転真空ポンプ油回転真空ポンプ メカニカルブースター ポンプメカニカルブースター ポンプ 
スパッタイオンポンプスパッタイオンポンプ  ターボ分子ポンプターボ分子ポンプ 油拡散ポンプ油拡散ポンプ  クライオポンプクライオポンプ 
チタンゲッタポンプチタンゲッタポンプ 真空計真空計 ガス分析計ガス分析計(プロセスガスモニタ)  リークディテクタリークディテクタ 
薄膜・粗さ計測薄膜・粗さ計測 光学式プロセスモニタ光学式プロセスモニタ  真空バルブ真空バルブ  超高真空部品超高真空部品 
成膜用電源+オプション成膜用電源+オプション  真空搬送ロボット真空搬送ロボット  ソフトウェアソフトウェア カタログダウンロードカタログダウンロード 
図面データダウンロード図面データダウンロード  I/Oデータ ダウンロードI/Oデータ ダウンロード  セレクションガイドセレクションガイド
生産終了と製品保守のお知らせ生産終了と製品保守のお知らせ 

材料材料

スパッタリングターゲット 
FPD用ターゲットFPD用ターゲット  半導体用ターゲット半導体用ターゲット  IGZOターゲットIGZOターゲット  蒸着材料蒸着材料 

高機能材料 
[Ta] [Nb] 板[Ta] [Nb] 板  [Ta] [Nb] 棒・線[Ta] [Nb] 棒・線  [Ta] [Nb] チューブ [Ta] [Nb] チューブ  [Ta] [Nb] [Zr] 反応槽[Ta] [Nb] [Zr] 反応槽 
[Ta] [Nb] 熱交換器[Ta] [Nb] 熱交換器  [Ta] [Nb] [Zr] 塔 [Ta] [Nb] [Zr] 塔  [Ta] [Nb] [Zr] [Ti] コーティング[Ta] [Nb] [Zr] [Ti] コーティング 
[Ta] [Nb] [Zr] [Ti] 配管[Ta] [Nb] [Zr] [Ti] 配管 

ナノメタルインク

カスタマーサポートカスタマーサポート

装置メンテナンス 装置メンテナンス  コンポーネントメンテナンスコンポーネントメンテナンス 部品・消耗品部品・消耗品  表面処理表面処理 
MEMSファウンドリーサービスMEMSファウンドリーサービス 分析サービス分析サービス  中古品売買中古品売買 トレーニングサービストレーニングサービス 
サービス拠点サービス拠点 

製品データ・製品ガイド

カタログダウンロードカタログダウンロード

図面ダウンロード図面ダウンロード

I/OデーターダウンロードI/Oデータダウンロード

セレクションガイドセレクションガイド

社会環境活動

社会的責任社会的責任

基本理念基本理念 コーポレートガバナンスコーポレートガバナンス コンプライアンスコンプライアンス リスクマネジメントリスクマネジメント

社会との関わり社会との関わり

お客様との関わりお客様との関わり 株主・投資家の皆さまへ株主・投資家の皆さまへ 従業員との関わり従業員との関わり 地域社会との関わり地域社会との関わり

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環境理念環境理念 環境方針環境方針 環境活動報告書環境活動報告書 グリーン調達ISO14001認証取得状況 グリーン調達グリーン調達

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