お客様の最新プロセスニーズにお応えし、装置・プロセス・材料と多角的に問題解決にあたるULVACグループのシンクタンクです。

半導体電子技術研究所 最先端Cu配線技術や新型不揮発性メモリ技術など次世代半導体製造技術と共に、LED、パワーデバイスや薄膜Li電池など次世代環境・エネルギー関連技術の開発を製造装置、プロセスそして材料の各方面から一体統合的に行い、顧客に製造技術ソリューションを提供しています。

千葉超材料研究所 FPD・太陽電池・電子部品・各種フィルム用の広範囲な分野の薄膜形成プロセス、および高純度材料・磁性材料・ナノインクなどの製造プロセス開発を行っています。高機能、高信頼性、高生産性を目指した革新的次世代製造技術の実現に向けて開発を進めています。

筑波超材料研究所 次世代デバイスにイノベーションを創出できる材料や技術を提案するとともに、地球環境・エネルギー問題を解決できる新しい技術開発を進めています。具体的には、次世代半導体材料（MRAM、Low-k、CNT・グラフェン）、次世代二次電池（Li・空気電池）、有機機能材料などの応用からシーズ研究まで幅広い開発を行っています。

技術開発部 MEMS、バイオセンサー、太陽電池関連計測機器などの新規分野の開発を進めるとともに、ファインメカトロ技術や真空ポンプ、真空計測器、電子・イオン応用技術などの開発を通じて、各種装置の高性能化・信頼性向上に貢献しています。

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