ホーム   技術研究開発  アルバックの新技術  新材料

新技術

 半導体製造技術 　 FPD・PV製造技術　  真空ポンプ　  MEMS 　 計測技術
 真空プロセス技術 　 新材料
 

 新材料

 

プラズマダメージ耐性を向上させた低比誘電率層間絶縁膜材料「ULKS Ver.3」
　(2009年11月リリース)

 
 
テクニカルジャーナル テクニカルジャーナル
ダウンロードはこちらから