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 真空プロセス技術

Catラジカル源を用いた低抵抗TiN膜の開発
　(2009年2月号掲載)

(1.1Mb)

実装工程向けアッシングプロセスの開発
　(2009年2月号掲載)

(1.8Mb)

新型遠心式真空蒸留装置の開発
　(2009年2月号掲載)

(1.1Mb)

真空ろう付け炉の近況
　(2009年8月号掲載)

(1.5Mb)

TFT向けCu配線プロセス－新Cu合金により水素プラズマ耐性が改善－
　(2009年8月号掲載)

(848Kb)

粉体製造用微噴凍結乾燥装置を開発、販売開始 —薬液から充填まで凍結乾燥製剤の一貫ラインを構築—
　(2010年6月リリース)

SABICイノベーティブプラスチックス Exatecとアルバック 自動車用グレージングにポリカーボネート樹脂の採用を加速するコーティング技術の量産化で技術提携を発表
　(2010年7月リリース)