ホーム   技術研究開発  アルバックの新技術  MEMS

新技術

 半導体製造技術 　 FPD・PV製造技術　  真空ポンプ　  MEMS 　 計測技術
 真空プロセス技術 　 新材料
 

 MEMS

 

強誘電体MEMS用圧電素子成膜・エッチング技術の開発
　(2007年3月号掲載)

(524Kb)

 
テクニカルジャーナル テクニカルジャーナル
ダウンロードはこちらから