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半導体製造技術

PVDを用いたAl配線形成におけるAl/TiN/Ti層の配向制御技術
　(2009年2月号掲載)

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半導体・電子部品の幅広い有機膜プロセスに対応した新型プラズマアッシング装置「Luminous NA-8000」
　(2009年11月リリース)