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InGaZnO TFT 関連成膜技術のOLED パネルへの適用

2

真空計｢G-TRAN シリーズ｣マルチイオンゲージ「SH2」の開発

3

大型振り子バルブ「VFR シリーズ」の開発

4

自動高速分光エリプソメータ｢UNECS-3000A｣の開発

5

操作性を追及した鉄工加工ライン向け表面欠陥検出装置｢MSC9000｣

6

キセノンフラッシュ法熱拡散率測定装置「TD-1 シリーズ」