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製品情報（用途別選択）
■ 太陽電池分野
スパッタリング装置SMD-Xシリーズ
スパッタリング装置SMDシリーズ
インライン式スパッタリング装置SDP-sシリーズ
枚葉式プラズマCVD装置CMDシリーズ
インクジェットプリンティングシステムS-200
ロードロック式蒸着装置CV-200
ロードロック式スパッタリング装置CS-200
ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400
枚葉式蒸着装置EME-400
実験用小型蒸着装置EX-200
枚葉式スパッタリング装置SME-200E
枚葉式PE-CVD装置CME-200E/400
バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズ
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バッチ式スパッタリング装置 SX-200/400
有機材料開発用蒸着装置Mini-Lab
分子線エピタキシー装置MBC-1000/2000
コンパクトスパッタACS-4000
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実験用小型スパッタリング装置 CS-L
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実験用小型エッチング装置 CE-L
[関連コンポーネント]
ドライ真空ポンプLR/HR/URシリーズ
ドライ真空ポンプ省電力化アタッチメントECO-SHOCK
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G-TRANシリーズ マルチイオンゲージSH2-1/SH2-2
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズコンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
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リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302
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リークディテクタHELIOT 710シリーズ
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リークディテクタHELIOT ZERO
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触針式表面形状測定器DektakXT
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小型高速分光エリプソメータUNECS-2000
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自動高速分光エリプソメータUNECS-3000A
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-M6
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非接触3次元光干渉粗さ計
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走査型プローブ顕微鏡
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装置診断システムFABISEQ
装置の導入時からの初期サービス、 メンテナンス、 アフターサービスの紹介
半導体用装置
電子部品用装置
ディスプレイ用装置
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金属・機械産業用装置
化学・薬品・食品用装置
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材料
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
メカニカルブースター真空ポンプ
イオン真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
油拡散真空ポンプ
クライオポンプ
その他の真空ポンプ
真空バルブ
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リークディテクタ
膜厚・粗さ計測
フランジ
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電源・EBガン
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真空搬送ロボット・搬送コアシステム
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