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製品情報（用途別選択）
■ 太陽電池分野
スパッタリング装置SMD-Xシリーズ
スパッタリング装置SMDシリーズ
インライン式スパッタリング装置SDP-sシリーズ
枚葉式プラズマCVD装置CMDシリーズ
インクジェットプリンティングシステムS-200
ロードロック式蒸着装置CV-200
ロードロック式スパッタリング装置CS-200
ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400
枚葉式蒸着装置EME-400
実験用小型蒸着装置EX-200
枚葉式スパッタリング装置SME-200E
枚葉式PE-CVD装置CME-200E/400
バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズ
NEW!
バッチ式スパッタリング装置 SX-200/400
有機材料開発用蒸着装置Mini-Lab
分子線エピタキシー装置MBC-1000/2000
コンパクトスパッタACS-4000
NEW!
実験用小型スパッタリング装置 CS-L
NEW!
実験用小型エッチング装置 CE-L
[関連コンポーネント]
ドライポンプLR/HRシリーズ
省電力化アタッチメントECO-SHOCK
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズコンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
NEW!
リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302
NEW!
リークディテクタHELIOT 710シリーズ
NEW!
リークディテクタHELIOT ZERO
触針式表面形状測定器Dektak 150
NEW!
小型高速分光エリプソメータUNECS-2000
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-M6
NEW!
装置診断システムFABISEQ
半導体用装置
電子部品用装置
ディスプレイ用装置
光産業用装置
マイクロマシン用装置
バイオ産業用装置
金属・機械産業用装置
化学・薬品・食品用装置
研究・開発・実験用装置
材料
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
メカニカルブースター真空ポンプ
イオン真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
油拡散真空ポンプ
クライオポンプ
その他の真空ポンプ
真空バルブ
真空計
ガス分析計
リークディテクタ
膜厚・粗さ計測
フランジ
その他の部品
電源・EBガン
ソフトウェア
真空搬送ロボット・搬送コアシステム
クロマトグラフ取込器
不揮発性メモリ
メモリ
ロジック
CCD/CMOSイメージセンサー
化合物半導体（LED/LD/RF）
SiCパワーデバイス
Siパワーデバイス
ディスクリート
高密度実装
液晶ディスプレイ LCD
プラズマディスプレイ PDP
有機EL
カラーフィルター
FED
ハードディスク
センサ
SAWデバイス
光ディスク
光学デバイス/光通信/通信メディア
真空加熱処理
MEMS
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太陽電池分野
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