真空技術と次世代発想のアルバック（ULVAC)：研究・開発

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■ 研究・開発

マルチチャンバ型スパッタリング装置Magest^TM S200
オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700
研究開発向け高密度プラズマエッチング装置CE-300I/NE-550
シリコンディープエッチング装置NLD-5700Si（微細加工向け）
研究開発向けNLDドライエッチング装置NLD-570
インクジェットプリンティングシステムS-200
コンパクトスパッタACS-4000
シリコンディープエッチング装置NLD-5700Si（微細加工向け）
アッシング装置 Luminous NA-800/1000/1300
NEW! LED向け量産専用ドライエッチング装置 APIOS NE-950EX
量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800
研究開発向けNLDドライエッチング装置NLD-570
マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX^TM-3000N
低比誘電率層間絶縁膜材料ULKS Ver.3
ロードロック式蒸着装置CV-200
ロードロック式スパッタリング装置CS-200
ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400
枚葉式蒸着装置EME-400
実験用小型蒸着装置EX-200
枚葉式スパッタリング装置SME-200E
裏面・実装用スパッタリング装置SRH-420
光学膜用スパッタリング装置ULDiSシリーズ
枚葉式PE-CVD装置CME-200E/400
バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズ
NEW! 実験用小型スパッタリング装置 CS-L
NEW! バッチ式スパッタリング装置 SX-200/400
NEW! 実験用小型エッチング装置 CE-L
有機材料開発用蒸着装置Mini-Lab
超高真空スパッタリング装置MPSシリーズ
分子線エピタキシー装置MBC-1000/2000
カーボンナノチューブ成長実験装置CN-CVD-400
ガスクラスターイオン源GCIB-25
放出ガス測定装置 TDS-2001
RFイオンガンRIGシリーズ
リニアイオンガンLxシリーズ
ハイパーアークプラズマガンARL-300
乾燥炉AMF-1000 ACF-500 ASF-500
NEW! 微噴凍結乾燥^TM装置/マイクロパウダードライ^TMシステム μPDシリーズ

[関連コンポーネント]
アクターポンプPST-030CU/AU
アクターポンプPST-050CU/AU
アクターポンプPST-100CX/100AX
アクターポンプPST-200CX2/200AX2
アクターポンプPST-400CX2/400AX2
イオンポンプコントロールGST-07L
油回転ポンプPVDシリーズ(155L/min〜372L/min)
油回転ポンプVDシリーズ（240L/min〜1800L/min)
油回転ポンプPKSシリーズ（1600L/min〜7000L/min)
油回転ポンプVSシリーズ（2500L/min〜4800L/min)
油回転ポンプ排気装置YM-VD/YM-VSシリーズ（1580L/min〜20000L/min)
オイルミストトラップTM/TMXシリーズ
メカニカルブースターポンプPRC-A, PMB-C(M) / Bシリーズ
メカニカルブースターポンプPRC-Aシリーズ
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズコンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
NEW! リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302
NEW!リークディテクタHELIOT 710シリーズ
NEW!リークディテクタHELIOT ZERO
触針式表面形状測定器Dektak 150
NEW! 小型高速分光エリプソメータUNECS-2000
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-M6
真空搬送ロボットCOVOT
真空搬送ロボットKEYTRAN-IV Z
小型搬送モジュールNCH-mono
Depoview
NEW! 装置診断システムFABISEQ

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