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製品情報(用途別選択)
■ ハードディスク
マルチチャンバ型スパッタリング装置Magest
TM
S200
研究開発向け高密度プラズマエッチング装置CE-300I/NE-550
量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800
マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX
TM
-3000N
超高真空スパッタリング装置MPSシリーズ
コンパクトスパッタACS-4000
乾燥炉AMF-1000 ACF-500 ASF-500
巻取式スパッタリング装置SPWシリーズ
横型真空熱処理炉FHHシリーズ
たて型真空熱処理炉FHVシリーズ
ホットローラー式真空熱処理炉FHHnシリーズ
[関連コンポーネント]
ドライポンプERシリーズ
ドライポンプLR/HRシリーズ
省電力化アタッチメントECO-SHOCK
メカニカルブースターポンプPRC-A, PMB-C(M) / Bシリーズ
メカニカルブースターポンプPRC-Aシリーズ
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプUTM-FW/FHシリーズ
ターボ分子ポンプ排気ユニットYTPシリーズ
ピポット軸受型ターボ分子ポンプUTMシリーズ
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-M6
<<<新製品>>>残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズコンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ
<<<新製品>>>残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
反応ガス対応プロセスモニタREPROS
NEW!
リークディテクタHELIOT 710シリーズ
NEW!
リークディテクタHELIOT ZERO
触針式表面形状測定器Dektak 150
真空搬送ロボットCOVOT
真空搬送ロボットKEYTRAN-IV Z
半導体用装置
電子部品用装置
ディスプレイ用装置
光産業用装置
マイクロマシン用装置
バイオ産業用装置
金属・機械産業用装置
化学・薬品・食品用装置
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材料
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
メカニカルブースター真空ポンプ
イオン真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
油拡散真空ポンプ
クライオポンプ
その他の真空ポンプ
真空バルブ
真空計
ガス分析計
リークディテクタ
膜厚・粗さ計測
フランジ
その他の部品
電源・EBガン
ソフトウェア
真空搬送ロボット・搬送コアシステム
クロマトグラフ取込器
不揮発性メモリ
メモリ
ロジック
CCD/CMOSイメージセンサー
化合物半導体(LED/LD/RF)
SiCパワーデバイス
Siパワーデバイス
ディスクリート
オプトデバイス
高密度実装
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プラズマディスプレイ PDP
有機EL
カラーフィルター
FED
ハードディスク
センサ
SAWデバイス
光ディスク
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