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製品情報（用途別選択）
■ ハードディスク
マルチチャンバ型スパッタリング装置Magest
TM
S200
研究開発向け高密度プラズマエッチング装置CE-300I/NE-550
量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800
マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX
TM
-3000N
超高真空スパッタリング装置MPSシリーズ
コンパクトスパッタACS-4000
乾燥炉AMF-1000 ACF-500 ASF-500
巻取式スパッタリング装置SPW-030
巻取式スパッタリング装置SPWシリーズ
横型真空熱処理炉FHHシリーズ
たて型真空熱処理炉FHVシリーズ
ホットローラー式真空熱処理炉FHHｎシリーズ
[関連コンポーネント]
ドライ真空ポンプLR/HR/URシリーズ
ドライ真空ポンプ省電力化アタッチメントECO-SHOCK
メカニカルブースターポンプPRC-A, PMB-C(M)シリーズ
メカニカルブースターポンプPRC-Aシリーズ
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプUTM-FH/FWシリーズ
ターボ分子ポンプ排気ユニットYTPシリーズ
ピポット軸受型ターボ分子ポンプUTMシリーズ
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-M6
NEW!
G-TRANシリーズ マルチイオンゲージSH2-1/SH2-2
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズコンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
NEW!
リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302
NEW!
リークディテクタHELIOT 710シリーズ
NEW!
リークディテクタHELIOT ZERO
NEW!
触針式表面形状測定器DektakXT
NEW!
小型高速分光エリプソメータUNECS-2000
NEW!
自動高速分光エリプソメータUNECS-3000A
NEW!
非接触3次元光干渉粗さ計
NEW!
走査型プローブ顕微鏡
真空搬送ロボットCOVOT
真空搬送ロボットKEYTRAN-9Z
太陽光をはじめとする自然エネルギーからの発電と電気自動車充電システムを連係させた製品の紹介
装置の導入時からの初期サービス、 メンテナンス、 アフターサービスの紹介
半導体用装置
電子部品用装置
ディスプレイ用装置
光産業用装置
マイクロマシン用装置
バイオ産業用装置
金属・機械産業用装置
化学・薬品・食品用装置
研究・開発・実験用装置
材料
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
メカニカルブースター真空ポンプ
イオン真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
油拡散真空ポンプ
クライオポンプ
その他の真空ポンプ
真空バルブ
真空計
ガス分析計
リークディテクタ
膜厚・粗さ計測
フランジ
その他の部品
電源・EBガン
ソフトウェア
真空搬送ロボット・搬送コアシステム
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