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製品情報（用途別選択）
■ 高密度実装
NEW!
マルチチャンバ型スパッタリング装置 ENTRON
TM
-EX2 W300
研究開発向け高密度プラズマエッチング装置CE-300I/NE-550
シリコンディープエッチング装置NLD-5700Si（微細加工向け）
中電流型イオン注入装置SOPHI-200/260
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LED向け量産専用ドライエッチング装置 APIOS NE-950EX
量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800
研究開発向けNLDドライエッチング装置NLD-570
マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX
TM
-3000N
ロードロック式蒸着装置CV-200
ロードロック式スパッタリング装置CS-200
ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400
枚葉式スパッタリング装置SME-200E
枚葉式PE-CVD装置CME-200E/400
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実験用小型スパッタリング装置 CS-L
乾燥炉AMF-1000 ACF-500 ASF-500
[関連コンポーネント]
<残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
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リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302
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リークディテクタHELIOT 710シリーズ
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リークディテクタHELIOT ZERO
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小型高速分光エリプソメータUNECS-2000
真空搬送ロボットCOVOT
真空搬送ロボットKEYTRAN-IV Z
小型搬送モジュールNCH-mono
搬送コアシステムNCH-4000
搬送コアシステムNCP-6000
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クライオポンプ
その他の真空ポンプ
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リークディテクタ
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真空搬送ロボット・搬送コアシステム
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メモリ
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Siパワーデバイス
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