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製品情報（用途別選択）
■ メモリ
マルチチャンバ型成膜装置ENTRON
TM
-EX W300
NEW!
マルチチャンバ型スパッタリング装置 ENTRON
TM
-EX2 W300
研究開発向け高密度プラズマエッチング装置CE-300I/NE-550
アッシング装置 Luminous NA-800/1000/1300
SiC用高温イオン注入装置IH-860D SIC
中電流型イオン注入装置SOPHI-200/260
マルチチャンバ型スパッタリング装置MLX
TM
-3000N
バッチ式自然酸化膜除去装置RISE
TM
-300
低比誘電率層間絶縁膜材料ULKS Ver.3
乾燥炉AMF-1000 ACF-500 ASF-500
[関連コンポーネント]
アクターポンプPST-030CU/AU
アクターポンプPST-050CU/AU
アクターポンプPST-100CX/100AX
アクターポンプPST-200CX2/200AX2
アクターポンプPST-400CX2/400AX2
ドライポンプLR/HRシリーズ
省電力化アタッチメントECO-SHOCK
NEW!
リークディテクタHELIOT 710シリーズ
NEW!
リークディテクタHELIOT ZERO
メカニカルブースターポンプPRC-A, PMB-C(M)/Bシリーズ
メカニカルブースターポンプPRC-Aシリーズ
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプUTM-FW/FHシリーズ
ターボ分子ポンプ排気ユニットYTPシリーズ
ピポット軸受型ターボ分子ポンプUTMシリーズ
G-TRANシリーズ
G-TRANピラニゲージ
G-TRANホットカソードゲージ
G-TRANコールドカソードゲージ
G-TRAN４CHディスプレイユニット
アナログピラニ真空計GP-1G(RY)/GP-2A(RY)
デジタルピラニ真空計GP-1000G/GP-2001G/GP-2002G
電離真空計GI-M2/GI-D7
極高真空計AxTRAN
アナログペニング真空計GI-PA/GI-PARY
セラミックキャパシタンスマノメータ用コントローラISG1/GM-2000
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズコンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
NEW!
リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302
リークテスタHELIOT 101
リークテスタHELIOT 102
リークテスタHELIOT 103
触針式表面形状測定器Dektak 150
非接触型金属膜厚測定器MESEC
NEW!
小型高速分光エリプソメータUNECS-2000
スパッタリング用DC電源DCSシリーズ
真空搬送ロボットCOVOT
真空搬送ロボットKEYTRAN-IV Z
小型搬送モジュールNCH-mono
搬送コアシステムNCH-4000
搬送コアシステムNCP-6000
半導体用装置
電子部品用装置
ディスプレイ用装置
光産業用装置
マイクロマシン用装置
バイオ産業用装置
金属・機械産業用装置
化学・薬品・食品用装置
研究・開発・実験用装置
材料
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
メカニカルブースター真空ポンプ
イオン真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
油拡散真空ポンプ
クライオポンプ
その他の真空ポンプ
真空バルブ
真空計
ガス分析計
リークディテクタ
膜厚・粗さ計測
フランジ
その他の部品
電源・EBガン
ソフトウェア
真空搬送ロボット・搬送コアシステム
クロマトグラフ取込器
不揮発性メモリ
メモリ
ロジック
CCD/CMOSイメージセンサー
化合物半導体（LED/LD/RF）
SiCパワーデバイス
Siパワーデバイス
ディスクリート
高密度実装
液晶ディスプレイ LCD
プラズマディスプレイ PDP
有機EL
カラーフィルター
FED
ハードディスク
センサ
SAWデバイス
光ディスク
光学デバイス/光通信/通信メディア
真空加熱処理
MEMS
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