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製品情報（製品別選択）
■ マイクロマシン用装置
[スパッタリング装置]
光学膜用スパッタリング装置ULDiSシリーズ
枚葉式スパッタリング装置SME-200E
バッチ式スパッタリング装置SVシリーズ
NEW!
バッチ式スパッタリング装置 SX-200/400
超高真空スパッタリング装置MPSシリーズ
コンパクトスパッタACS-4000
NEW!
実験用小型スパッタリング装置 CS-L
[CVD装置]
ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400
枚葉式PE-CVD装置CME-200E/400
[蒸着装置]
バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズ
ロードロック式蒸着装置CV-200
枚葉式蒸着装置EME-400
実験用小型蒸着装置EX-200
[エッチング装置]
研究開発向けNLDドライエッチング装置NLD-570
オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700
シリコンディープエッチング装置NLD-5700Si（微細加工向け）
研究開発向け高密度プラズマエッチング装置CE-300I/NE-550
LED向け量産専用ドライエッチング装置 APIOS NE-950EX
量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800
NEW!
実験用小型エッチング装置 CE-L
[アッシング装置]
アッシング装置 Luminous NAシリーズ
[インクジェット装置]
インクジェットプリンティングシステムS-200
[その他]
RFイオンガンRIGシリーズ
ガスクラスターイオン源GCIB-25
NEW!
リアクティブプロセスガスモニタ Qulee RGM-202/RGM-302
NEW!
小型高速分光エリプソメータUNECS-2000
半導体用装置
電子部品用装置
ディスプレイ用装置
光産業用装置
マイクロマシン用装置
バイオ産業用装置
金属・機械産業用装置
化学・薬品・食品用装置
研究・開発・実験用装置
材料
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
メカニカルブースター真空ポンプ
イオン真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
油拡散真空ポンプ
クライオポンプ
その他の真空ポンプ
真空バルブ
真空計
ガス分析計
リークディテクタ
膜厚・粗さ計測
フランジ
その他の部品
電源・EBガン
ソフトウェア
真空搬送ロボット・搬送コアシステム
クロマトグラフ取込器
不揮発性メモリ
メモリ
ロジック
CCD/CMOSイメージセンサー
化合物半導体（LED/LD/RF）
SiCパワーデバイス
Siパワーデバイス
ディスクリート
高密度実装
液晶ディスプレイ LCD
プラズマディスプレイ PDP
有機EL
カラーフィルター
FED
ハードディスク
センサ
SAWデバイス
光ディスク
光学デバイス/光通信/通信メディア
真空加熱処理
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