真空技術と次世代発想のアルバック（ULVAC)：半導体用装置

ホーム製品情報（製品別選択）

半導体用装置	電子部品用装置
ディスプレイ用装置	光産業用装置
マイクロマシン用装置	バイオ産業用装置
金属・機械産業用装置	化学・薬品・食品用装置
研究・開発・実験用装置	材料

ドライ真空ポンプ	油回転真空ポンプ
メカニカルブースターポンプ	イオン真空ポンプ
ターボ分子ポンプ	油拡散真空ポンプ
クライオポンプ	その他の真空ポンプ
真空バルブ	真空計
ガス分析計	リークディテクタ
膜厚・粗さ計測	フランジ
その他の部品	電源・EBガン
ソフトウェア	真空搬送ロボット・搬送コアシステム
クロマトグラム取込器