真空技術と次世代発想のアルバック（ULVAC)：規格品事業部

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■ 規格品事業部

[ドライ真空ポンプ]
ドライポンプLR/HRシリーズ
省電力化アタッチメントECO-SHOCK
[油回転真空ポンプ]
油回転ポンプPVDシリーズ(155L/min〜372L/min)
油回転ポンプVDシリーズ（240L/min〜1800L/min)
油回転ポンプPKSシリーズ（1600L/min〜7000L/min)
油回転ポンプVSシリーズ（2500L/min〜4800L/min)
油回転ポンプ排気装置YM-VD/YM-VSシリーズ（1580L/min〜20000L/min)
オイルミストトラップTM/TMXシリーズ
[メカニカルブースター真空ポンプ]
メカニカルブースターポンプPRC-A, PMB-C(M)/Bシリーズ
メカニカルブースターポンプPRC-Aシリーズ
[ターボ分子ポンプ]
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプUTM-FW/FHシリーズ
ターボ分子ポンプ排気ユニットYTPシリーズ
ピポット軸受型ターボ分子ポンプUTMシリーズ
[油拡散真空ポンプ]
油拡散ポンプULKシリーズ
[チタンゲッタポンプ]
チタンゲッタポンプPGTシリーズ
チタンゲッタポンプ用電源GGT-3
[真空バルブ]
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（コンフラットフランジタイプ）VULP-CMシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（真空フランジタイプ）VULP-Fシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（KFフランジタイプ）VULP-KFシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ（コンフラットフランジタイプ）VUGP-CSシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ（真空フランジタイプ）VUGP-Fシリーズ
圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブVAPシリーズ
圧空作動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ（KFフランジ付）VLP-US-KFシリーズ
圧空作動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ（真空フランジタイプ）VLP-U，USシリーズ
手動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ（真空フランジタイプ）VLH-U，USシリーズ
手動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ（KFフランジタイプ）VLH-US-KFシリーズ
手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブVAHシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（コンフラットフランジタイプ）VULH-CMシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（真空フランジタイプ）VULH-Fシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（KFフランジタイプ）VULH-KFシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ（コンフラットフランジタイプ）VUGH-CSシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ（真空フランジタイプ）VUGH-Fシリーズ
超高真空バルブ手動式超高真空エアインレットバルブ10AIシリーズ
超高真空バルブ手動式超高真空メタルバルブ（コンフラットフランジタイプ）VUHシリーズ
手動式超高真空ミニバルブ（コンフラットフランジタイプ）VUH-MVF
[真空計]
G-TRANシリーズ
NEW! G-TRANシリーズ大気圧ピラニ真空計SW1
G-TRANピラニゲージ
G-TRANホットカソードゲージ
G-TRANコールドカソードゲージ
NEW! G-TRAN 1チャンネルディスプレイユニットISG1
G-TRAN４CHディスプレイユニット
アナログピラニ真空計GP-1G(RY)・GP-2G(RY)
デジタルピラニ真空計GP-1000G/GP-2001G/GP-2002G
電離真空計GI-M2/GI-D7
極高真空計AxTRAN
アナログペニング真空計GI-PA/GI-PARY
セラミックキャパシタンスマノメータ用コントローラISG1/GM-2000
NEW! セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ
NEW! G-TRANシリーズマルチイオンゲージ SH2-1/SH2-2
[ガス分析計]
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズコンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
NEW! 残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズハイパフォーマンスプロセスガスモニタQulee HGMシリーズ
NEW! リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/RGM-302
NEW! 差動排気系キット付き四重極型質量分析計Qulee with YTP
ガス分析計用ソフトウェアQulee QCS
[リークディテクタ]
リークテスタHELIOT 101
リークテスタHELIOT 102
リークテスタHELIOT 103
NEW!リークディテクタHELIOT 710シリーズ
NEW!リークディテクタHELIOT ZERO
[膜厚・粗さ計測]
NEW! 触針式表面形状測定器 DektakXT
水晶発振式成膜コントローラCRTM-6000G
水晶発振式成膜コントローラCRTM-9000G
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-12
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-M6
非接触型金属膜厚測定器MESEC
NEW! 小型高速分光エリプソメータUNECS-2000
NEW! 自動高速分光エリプソメータUNECS-3000A
[フランジ]
超高真空フランジUFCシリーズ
超高真空変換フランジ
[その他の部品]
超高真空ゼロレングス覗窓TVUシリーズ
超高真空回転導入端子TDUシリーズ
超高真空直線導入端子TSUシリーズ
電流導入端子CMSシリーズ
[電源・EBガン]
スパッタリング用DC電源DCSシリーズ
EB電源HPSシリーズ
蒸発用EBガンEGK/EGL/EGOシリーズ

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