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製品情報(事業部別選択)
■ 規格品事業部
[ドライ真空ポンプ]
ドライポンプLR/HRシリーズ
省電力化アタッチメントECO-SHOCK
[油回転真空ポンプ]
油回転ポンプPVDシリーズ(155L/min〜372L/min)
油回転ポンプVDシリーズ(240L/min〜1800L/min)
油回転ポンプPKSシリーズ(1600L/min〜7000L/min)
油回転ポンプVSシリーズ(2500L/min〜4800L/min)
油回転ポンプ排気装置YM-VD/YM-VSシリーズ(1580L/min〜20000L/min)
オイルミストトラップTM/TMXシリーズ
[メカニカルブースター真空ポンプ]
メカニカルブースターポンプPRC-A, PMB-C(M)/Bシリーズ
メカニカルブースターポンプPRC-Aシリーズ
[ターボ分子ポンプ]
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプUTM-FW/FHシリーズ
ターボ分子ポンプ排気ユニットYTPシリーズ
ピポット軸受型ターボ分子ポンプUTMシリーズ
[油拡散真空ポンプ]
油拡散ポンプULKシリーズ
[チタンゲッタポンプ]
チタンゲッタポンプPGTシリーズ
チタンゲッタポンプ用電源GGT-3
[真空バルブ]
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ(コンフラットフランジタイプ)VULP-CMシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ(真空フランジタイプ)VULP-Fシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ(KFフランジタイプ)VULP-KFシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ(コンフラットフランジタイプ)VUGP-CSシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ(真空フランジタイプ)VUGP-Fシリーズ
圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブVAPシリーズ
圧空作動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ(KFフランジ付)VLP-US-KFシリーズ
圧空作動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ(真空フランジタイプ)VLP-U,USシリーズ
手動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ(真空フランジタイプ)VLH-U,USシリーズ
手動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ(KFフランジタイプ)VLH-US-KFシリーズ
手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブVAHシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ(コンフラットフランジタイプ)VULH-CMシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ(真空フランジタイプ)VULH-Fシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ(KFフランジタイプ)VULH-KFシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ(コンフラットフランジタイプ)VUGH-CSシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ(真空フランジタイプ)VUGH-Fシリーズ
超高真空バルブ手動式超高真空エアインレットバルブ10AIシリーズ
超高真空バルブ手動式超高真空メタルバルブ(コンフラットフランジタイプ)VUHシリーズ
手動式超高真空ミニバルブ(コンフラットフランジタイプ)VUH-MVF
[真空計]
G-TRANシリーズ
NEW!
G-TRANシリーズ 大気圧ピラニ真空計SW1
G-TRANピラニゲージ
G-TRANホットカソードゲージ
G-TRANコールドカソードゲージ
NEW!
G-TRAN 1チャンネルディスプレイユニットISG1
G-TRAN4CHディスプレイユニット
アナログピラニ真空計GP-1G(RY)・GP-2G(RY)
デジタルピラニ真空計GP-1000G/GP-2001G/GP-2002G
電離真空計GI-M2/GI-D7
極高真空計AxTRAN
アナログペニング真空計GI-PA/GI-PARY
セラミックキャパシタンスマノメータ用コントローラISG1/GM-2000
NEW!
セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ
NEW!
G-TRANシリーズ マルチイオンゲージ SH2-1/SH2-2
[ガス分析計]
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ コンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ ベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
NEW!
残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ ハイパフォーマンスプロセスガスモニタQulee HGMシリーズ
NEW!
リアクティブプロセスガスモニタQulee RGM-202/RGM-302
NEW!
差動排気系キット付き四重極型質量分析計Qulee with YTP
ガス分析計用ソフトウェアQulee QCS
[リークディテクタ]
リークテスタHELIOT 101
リークテスタHELIOT 102
リークテスタHELIOT 103
NEW!
リークディテクタHELIOT 710シリーズ
NEW!
リークディテクタHELIOT ZERO
[膜厚・粗さ計測]
NEW!
触針式表面形状測定器 DektakXT
水晶発振式成膜コントローラCRTM-6000G
水晶発振式成膜コントローラCRTM-9000G
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-12
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-M6
非接触型金属膜厚測定器MESEC
NEW!
小型高速分光エリプソメータUNECS-2000
NEW!
自動高速分光エリプソメータUNECS-3000A
[フランジ]
超高真空フランジUFCシリーズ
超高真空変換フランジ
[その他の部品]
超高真空ゼロレングス覗窓TVUシリーズ
超高真空回転導入端子TDUシリーズ
超高真空直線導入端子TSUシリーズ
電流導入端子CMSシリーズ
[電源・EBガン]
スパッタリング用DC電源DCSシリーズ
EB電源HPSシリーズ
蒸発用EBガンEGK/EGL/EGOシリーズ
半導体用装置
電子部品用装置
ディスプレイ用装置
光産業用装置
マイクロマシン用装置
バイオ産業用装置
金属・機械産業用装置
化学・薬品・食品用装置
研究・開発・実験用装置
材料
ドライ真空ポンプ
油回転真空ポンプ
メカニカルブースター真空ポンプ
イオン真空ポンプ
ターボ分子ポンプ
油拡散真空ポンプ
クライオポンプ
その他の真空ポンプ
真空バルブ
真空計
ガス分析計
リークディテクタ
膜厚・粗さ計測
フランジ
その他の部品
電源・EBガン
ソフトウェア
真空搬送ロボット・搬送コアシステム
クロマトグラフ取込器
不揮発性メモリ
メモリ
ロジック
CCD/CMOSイメージセンサー
化合物半導体(LED/LD/RF)
SiCパワーデバイス
Siパワーデバイス
ディスクリート
高密度実装
液晶ディスプレイ LCD
プラズマディスプレイ PDP
有機EL
カラーフィルター
FED
ハードディスク
センサ
SAWデバイス
光ディスク
光学デバイス/光通信/通信メディア
真空加熱処理
MEMS
バイオテクノロジー分野
ライフサイエンス分野
化学薬品食品分野
研究・開発分野
環境分野
自動車分野
金属機械分野
太陽電池分野
二次電池分野
表面処理分野
評価分析装置分野
材料分野
半導体装置事業部
FPD事業部/PV事業部
電子機器事業部
産業機器事業部
規格品事業部
制御ソリューション事業部
マテリアル事業部