マイクロクリスタル用PE-CVD装置「CIM-1400」を加えた
タンデム型薄膜シリコン太陽電池製造用ターンキーシステムを開発、販売開始
a-Si太陽電池比で発電効率を30%向上、ワット当たり（Wp）の製造コストを10%削減

2009年6月23日　株式会社アルバック

　株式会社アルバック（本社：神奈川県茅ヶ崎市萩園2500 代表取締役社長 諏訪秀則）は、これまで、アモルファスシリコン（a-Si）薄膜太陽電池一貫製造ラインを販売いたしてまいりましたが、このほどa-Si太陽電池比で、発電効率を30%アップし、ワット当たり（Wp）の製造コストを10%削減したマイクロクリスタル（µc）-Si 用PE-CVD装置「CIM-1400」を開発し、ラインナップに追加するとともにタンデム型薄膜シリコン太陽電池一貫製造ラインとして販売を開始いたしますので、お知らせいたします。

[背景]

　a-Si薄膜太陽電池は、材料資源として潤沢でかつ安全な材料であるシリコンを原料としながら、結晶系シリコン太陽電池に比べ、シリコン使用量が100分の1以下と非常に少ないことから、今後の太陽電池の主流に置き換わっていくものとして大きな注目を集め、世界各地で生産が進んでいます。しかし、a-Si薄膜太陽電池は、結晶系太陽電池に比べ光電変換効率が低いため、a-Si薄膜太陽電池の光電変換層a-Si層にµc-Si層を加えたタンデム型薄膜太陽電池の技術開発と製造装置の開発が進められてきましたが、実用的かつ効率的な技術、製造装置が存在せず、それらの開発および供給が待たれていました。

[特長]

　アルバックは、このような状況の中、今まで電気に変換できなかった赤色から赤外の波長の光も取り込み、電気に変換できるµc-Si膜を効率的に形成できるµc-Si用PE-CVD装置「CIM-1400」を新たに開発しました。この新しく開発したµc-Si用PE-CVD装置「CIM-1400」をタンデム型薄膜シリコン太陽電池一貫製造ラインに加えることで、a-Si薄膜太陽電池モジュール比で出力を30%以上高めることができます。
　新しく開発したµc-Si 用PE-CVD装置「CIM-1400」およびµc-Si 用PE-CVD装置「CIM-1400」を加えたタンデム型薄膜シリコン太陽電池一貫製造ラインの特徴は、次のとおりです。
　なお、使用ガラス基板サイズは、薄膜シリコン太陽電池用ガラス基板として一般的に使用される5.5世代基板を用いています。

1. 高性能タンデム型薄膜シリコン太陽電池の製造が可能
　µc-Si用PE-CVD装置「CIM-1400」を組み込んだタンデム型薄膜シリコン太陽電池一貫製造ラインで製造されるタンデム型薄膜シリコン太陽電池モジュールの性能は次のとおりです。
• セル変換効率：9%（アパーチャーエリア内）
• モジュール平均出力：130Wp（年間平均生産量32.5MW）

2. 斬新なマイクロクリスタル用PE-CVD装置
　高性能の薄膜シリコン太陽電池を生産するためには、シリコン薄膜を低い成膜速度で形成する必要があります。また高変換効率のµc-Si薄膜を形成するためには、a-Si薄膜以上の膜厚の確保が必要で、一般には、非常に多くの台数のPE-CVD装置が必要とされてきました。しかし、アルバックが新しく開発したµc-Si用PE-CVD装置「CIM-1400」は、6枚のガラス基板を同時に処理するため、低い成膜速度でありながら生産量の確保が可能となりターンキーとしては90秒タクトでタンデム型太陽電池が製造できます。この様にµc-Si用PE-CVD装置「CIM-1400」およびµc-Si用PE-CVD装置「CIM-1400」を加えたタンデム型薄膜シリコン太陽電池一貫製造ラインは、斬新な装置とラインです。

3. a-Si薄膜太陽電池比最大10%のワット当たり（Wp）の製造コストを削減
　タンデム型薄膜シリコン太陽電池一貫製造ラインで製造されるタンデム型薄膜シリコン太陽電池モジュールの性能向上により、モジュールの年間生産量（出力）をa-Si薄膜太陽電池の25MW から32.5MWに向上し、µc-Si用PE-CVD装置「CIM-1400」の追加投資コスト上昇を上回る投資生産性の改善を実現しました。
　新装置および新ラインを用いa-Si型薄膜太陽電池からタンデム型薄膜太陽電池にすることで、ワット当たりの製造コストを世界で初めて削減しました。

[販売開始日]

　µc-Si用PE-CVD装置「CIM-1400」およびµc-Si用PE-CVD装置「CIM-1400」を加えたタンデム型薄膜シリコン太陽電池一貫製造ラインは、2009年7月1日から販売を開始いたします。

[今後の予定]

　アルバックは、今後も薄膜シリコン太陽電池投資生産コストのさらなる削減を実現するため、製造装置、製造技術、材料を含めたトータルな開発を進めてまいります。