タンデム型薄膜太陽電池用複合式薄膜特性評価装置
「MPEC-1300」を発売開始
評価機導入の初期コストを1/2に削減

2009年6月23日　株式会社アルバック

　株式会社アルバック（本社：神奈川県茅ヶ崎市萩園2500 代表取締役社長 諏訪秀則）は、タンデム型薄膜太陽電池製造工程での薄膜特性を評価する複合式薄膜特性評価装置「MPEC-1300」を開発、販売を開始いたしますので、お知らせいたします。

[背景]

　太陽電池製造での成膜工程では、膜質、膜厚の均一性等の特性を評価することが、歩留りを維持するために不可欠となっています。しかしこれまで、膜特性評価は、目的によって測定原理の異なる複数の装置で行われており、装置ごとに評価サンプルを用意する必要があるため手間と時間を要していました。
　今回、アルバックは、既存のアモルファスシリコン（a-Si）薄膜太陽電池の評価に加え、タンデム型で成膜されたマイクロクリスタルシリコン（µc-Si）膜の光学特性を取得でき、さらに評価用のサンプルガラス基板を準備することなく、複数の異なる膜特性評価が可能となるタンデム型太陽電池用複合式薄膜特性評価装置「MPEC-1300」をリリースいたします。

[概要]

　従来の太陽電池薄膜特性評価装置は、a-Si薄膜太陽電池の製造工程において、薄膜の膜厚、表面形状、抵抗を測定し、成膜された材料の分布や膜質などを管理してきましたが、光学特性を得るためには、ガラス基板を小さく切り出し、特定の測定に特化した専用測定器を用いて、評価を行っていました。また、複数の測定器を導入しなければならないことから初期コストもかかり、大変非効率な設備となっていました。
　これに対して、新しく開発、販売するタンデム型太陽電池用複合式薄膜特性評価装置「MPEC-1300」は、薄膜シリコン系太陽電池に標準的に使用される第5.5世代基板サイズ対応で、従来の膜厚、表面形状、抵抗測定に加えて光学特性を評価できる機能を搭載することによりａ-Si薄膜だけではなく、タンデム型薄膜太陽電池のµc-Si結晶化率も評価できる画期的な評価装置です。

[特長]

　タンデム型太陽電池用複合式薄膜特性評価装置「MPEC-1300」は、従来機より搭載していた、1) 電極用金属薄膜の膜厚測定と面内分布を評価する「触針式表面形状測定」、2) 電極用金属薄膜の抵抗率分布を評価する「低抵抗率測定」の機能に加え、3) µc-Si結晶化率を求め面内分布をマッピングする「Raman分光測定」、4) レーザースクライブ後およびTCO（Transparent　Conductive　Oxide）膜表面の形状を3次元的に評価する「3次元測定」、5) a-Si薄膜の光学定数を評価する「分光エリプソメータ」、6) a-Si薄膜の抵抗率分布を評価する「高抵抗率測定」の4つの機能を追加し、合計6種類の測定機能を搭載したことで、タンデム型薄膜太陽電池の薄膜特性評価を1台で可能としました。また、第5.5世代サイズまでのガラス基板上の全面を測定することが可能で、評価のために基板を破壊する必要がありません。これらの優れた特長により、専用の測定器を個別に複数導入した場合に比べ、初期導入コスト及びランニングコストが約1/2と大幅に削減できます。
　また、本評価装置は、用途に応じて搭載する測定機能を選択できるように構成されています。
　さらにアルバックでは、TCOのHazeと太陽電池変換効率の分布の評価装置も開発中です。

[販売目標および販売価格]

　新しく発売するタンデム型薄膜太陽電池用複合式薄膜特性評価装置「MPEC-1300」は、2009年6月24日から発売を開始いたします。販売価格は、全測定機能を搭載した場合で1.5億円です。販売目標は、初年度10台の販売を見込んでいます。
　なお新評価装置は、2009年6月24日（水）から26日（金）に千葉・幕張メッセで開催されるPV Japan2009のアルバックブース（幕張メッセ6ホール、Booth6A-804）でパネル展示および紹介を行います。