真空技術と次世代発想のアルバック（ULVAC)

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FPD分野
LCD PDF (約224k)	LCD製造装置業界世界No1のソリューションパッケージ
	■Solution 製品スパッタリング装置　 CVD装置　分析装置　プロセスモニタ　ドライポンプ（大型・小型）クライオポンプ　成膜材料

PDP PDF (約236k)	PDPテレビ，大画面ディスプレイで活躍するアルバックソリューション
	■Solution 製品スパッタ装置　 MgO蒸着装置　分析装置　ナノファイバ実験装置　膜厚測定器　プロセスモニタ　ドライポンプ（大型・小型）クライオポンプ　成膜材料

有機EL PDF (約252k)	薄型、軽量、低消費電力の新世代ディスプレイ素子の製造プロセスソリューション
	■Solution 製品有機EL装置　スパッタ装置　エッチング装置　膜厚測定器　リークディテクタ　分析装置　プロセスモニタ　成膜材料

電子部品分野
光通信 PDF (約116k)	IT時代の高速光通信用部品製造のソリューションを提供
	■Solution 製品スパッタ装置　 CVD装置　蒸着装置　エッチング装置

通信メディア PDF (約104k)	21世紀の通信メディア用各種部品製造に貢献
	■Solution 製品スパッタ装置　蒸着装置　エッチング装置

半導体分野
極薄ウェーハ PDF (約112k)	豊富な実績と、信頼性の高い自動搬送系を搭載した装置のラインナップ
	■Solution 製品エッチング装置　イオン注入装置　スパッタ装置

FeRAM PDF (約132k)	次世代不揮発メモリの１つFeRAMの課題解決、量産化推進パッケージ
	■Solution 製品スパッタ装置　エッチング装置　ランプアニール装置　成膜材料

化合物半導体 PDF (約176k)	高度情報化社会のキィーデバイス製造に最先端技術を提供
	■Solution 製品分子線エピタキシー装置　スパッタ装置　蒸着装置エッチング装置　 CVD装置　イオン注入装置

Al 配線 PDF (約168k)	半導体チップ製造工程におけるAl配線プロセスの低コスト化・微細化対応ソリューション
	■Solution 製品スパッタ装置　エッチング装置

Cu 配線 PDF (約268k)	最先端半導体チップ製造の不可欠課題、Cu/Low-kインテグレーションソリューション
	■Solution 製品スパッタ装置　イオン注入装置　エッチング装置コンパクトアニール装置　分析装置　プロセスモニタ　膜厚測定器ドライポンプ（大型・小型）　クライオポンプ　成膜材料

高密度実装 PDF (約96k)	低コストで高密度なウェーハレベルパッケージ製造の提案
	■Solution 製品スパッタ装置　蒸着装置　エッチング装置

新規事業分野
ナノテクノロジー PDF (約403k)	ネットワークナノデバイス、環境エネルギー、材料、計測・加工の提案
	■Solution 製品カーボンナノチューブ装置　 MRAMスパッタ装置　 AR膜スパッタ装置　光触媒評価　CAT-CVD/CVD　燃料電池スパッタ装置　ステンシルマスク　元素分布測定　材料

ライフサイエンス PDF (約168k)	21世紀の医療・薬品・食品製造に関わるソリューション技術の集積
	■Solution 製品凍結真空乾燥装置　質量分析装置　微生物活性熱量計　小型真空排気

マイクロマシン PDF (約80k)	無限の応用分野を提供する新時代のソリューションパッケージ
	■Solution 製品エッチング装置　ナノファイバ実験装置

R&D支援 PDF (約88k)	新素材、ナノテクノロジー、バイオテクノロジーなどの研究開発をあらゆる角度から支援
	■Solution 製品半導体デバイス：エピタキシャル装置　エッチング装置　ランプ加熱装置磁気ストレージ：ヘリコンスパッタ装置　エッチング装置　イオン注入装置ディスプレイ：エッチング装置　イオン注入装置　カーボンナノチューブ装置エネルギー：アクターポンプ高機能材料：ヘリコンスパッタ装置　エピタキシャル装置　カーボンナノチューブ装置

環境 PDF (約488k)	省エネ・省資源・環境保護に貢献するアルバックのソリューションパッケージ
	■Solution 製品ドライポンプ省電力化アタッチメント　真空焼結炉　 LCD用枚葉式スパッタ装置　研究開発用標準型スパッタ装置　小型真空凍結乾燥装置　光触媒評価チェッカー

一般産業分野
自動車部品 PDF (約264k)	21世紀型自動車の部品製造に必須のソリューション
	■Solution 製品ミラー用枚葉式スパッタ装置　有機EL成膜装置　真空ろう付炉　真空熱処理炉　真空誘導溶解炉　真空焼結炉　イオンプレーティング装置　真空蒸着装置

太陽電池 PDF (約192k)	21世紀のクリーンエネルギーを創出する次世代太陽電池製造のキィーテクノロジーアルバックの太陽電池サイトはこちら
	■Solution 製品マルチチャンバーシリーズ成膜装置　エッチング装置　インライン式スパッタ装置　分析装置　プロセスモニタ　膜厚測定器　ドライポンプ（大型・小型）クライオポンプ　成膜材料

二次電池 PDF (約268k)	次世代携帯端末に不可欠の薄型高性能長時間使用電池の製造ソリューション
	■Solution 製品真空誘導溶解炉　リークディテクター　プロセスモニタ　油回転ポンプ　分析装置　示差走査熱量計　示差熱天秤　真空溶解炉用ルツボ　真空熱処理用ヒータ

表面処理 PDF (約112k)	環境にやさしい高付加価値な表面処理、再生洗浄処理技術を提供
	■Solution 製品特殊硬質アルマイト処理　ポリミイドコーティング　真空用低ガス放出表面処理　 UC-Treatment

評価装置 PDF (約232k)	アルバックグループのあらゆる評価、分析、測定技術を結集
	■Solution 製品反応性ガス対応プロセスモニタ　触針式段差・表面形状測定器　走査型オージェ電子分光分析装置　薄膜熱伝導率測定器