規格品事業部 製品案内

ドライポンプERシリーズ
ドライポンプLR/HRシリーズ
省電力化アタッチメントECO-SHOCK
油回転ポンプPVDシリーズ(155L/min〜372L/min)
油回転ポンプVDシリーズ（240L/min〜1800L/min)
油回転ポンプPKSシリーズ（1600L/min〜7000L/min)
油回転ポンプVSシリーズ（2500L/min〜4800L/min)
油回転ポンプ排気装置YM-VD/YM-VSシリーズ（1580L/min〜20000L/min)
オイルミストトラップTM/TMXシリーズ
メカニカルブースターポンプPMB-B/Cシリーズ
メカニカルブースターポンプPRC-Aシリーズ
デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプUTM-FW/FHシリーズ
ターボ分子ポンプ排気ユニットYTPシリーズ
ピポット軸受型ターボ分子ポンプUTMシリーズ
油拡散ポンプULKシリーズ
チタンゲッタポンプPGTシリーズ
チタンゲッタポンプ用電源GGT-3
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（コンフラットフランジタイプ）VULP-CMシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（真空フランジタイプ）VULP-Fシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（KFフランジタイプ）VULP-KFシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ（コンフラットフランジタイプ）VUGP-CSシリーズ
圧空作動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ（真空フランジタイプ）VUGP-Fシリーズ
圧空作動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブVAPシリーズ
圧空作動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ（KFフランジ付）VLP-US-KFシリーズ
圧空作動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ（真空フランジタイプ）VLP-U，USシリーズ
手動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ（真空フランジタイプ）VLH-U，USシリーズ
手動型Oリング軸シール式高真空L型バルブ（KFフランジタイプ）VLH-US-KFシリーズ
手動型Oリング軸シール式高真空ゲートバルブVAHシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（コンフラットフランジタイプ）VULH-CMシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（真空フランジタイプ）VULH-Fシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空L型バルブ（KFフランジタイプ）VULH-KFシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ（コンフラットフランジタイプ）VUGH-CSシリーズ
手動型ベローズ軸シール式超高真空ゲートバルブ（真空フランジタイプ）VUGH-Fシリーズ
超高真空バルブ手動式超高真空エアインレットバルブ10AIシリーズ
超高真空バルブ手動式超高真空メタルバルブ（コンフラットフランジタイプ）VUHシリーズ
手動式超高真空ミニバルブ（コンフラットフランジタイプ）VUH-MVF
G-TRANシリーズ

 

NEW! G-TRANシリーズ 大気圧ピラニ真空計 SW1
G-TRANピラニゲージ
G-TRANホットカソードゲージ
G-TRANコールドカソードゲージ
NEW! G-TRAN 1チャンネルディスプレイユニット ISG1
G-TRAN４CHディスプレイユニット
アナログピラニ真空計GP-1G(RY)・GP-2G(RY)
デジタルピラニ真空計GP-1000G/GP-2001G/GP-2002G
デジタル電離真空計GI-D7/N8
メタル電離真空計GI-M2
極高真空計AxTRAN
アナログペニング真空計GI-PA/GI-PARY
セラミックキャパシタンスマノメータ用コントローラGMシリーズ
セラミックキャパシタンスマノメータ CCM-Aシリーズ
NEW! セラミックキャパシタンスマノメータ CCMT-Dシリーズ
NEW! 残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズコンパクトプロセスガスモニタQulee CGMシリーズ
NEW! 残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・QuleeシリーズベーシックプロセスガスモニタQulee BGMシリーズ
NEW! 残留ガス分析計/プロセスガスモニタ・Quleeシリーズ ハイパフォーマンスプロセスガスモニタ Qulee HGMシリーズ
NEW! 差動排気系キット付き四重極型質量分析計・Qulee with YTP コンパクトプロセスガスモニタQulee with YTP
ガス分析計用ソフトウェアQulee QCS
反応ガス対応プロセスモニタREPROS
高分解能四重極型質量分析計HIRESOM
リークテスタHELIOT 101
リークテスタHELIOT 102
リークテスタHELIOT 103
NEW!リークディテクタHELIOT 710シリーズ
NEW!リークディテクタHELIOT ZERO
自動エリプソメータESMシリーズ
触針式表面形状測定器Dektak 8
触針式表面形状測定器Dektak 150
水晶発振式成膜コントローラCRTM-6000G
水晶発振式成膜コントローラCRTM-9000G
水晶発振式成膜コントローラ用マルチセンサCRTS-12
非接触型金属膜厚測定器MESEC
超高真空フランジUFCシリーズ
超高真空変換フランジ
超高真空ゼロレングス覗窓TVUシリーズ
超高真空回転導入端子TDUシリーズ
超高真空直線導入端子TSUシリーズ
電流導入端子CMSシリーズ
RF電源RFS-Aシリーズ
RF電源RGN-1302
スパッタリング用DC電源DCLシリーズ
スパッタリング用DC電源DCSシリーズ
EB電源HPSシリーズ
蒸発用EBガンEGK/EGL/EGOシリーズ